铝纳米线阵列的制备及生长机理

发布时间：2017-10-27 06:17

  本文关键词：铝纳米线阵列的制备及生长机理

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【摘要】：分别利用高密度电流和高温加热作为驱动力,在不同试样中产生原子迁移现象,并进行对比试验研究制备铝纳米线阵列的可行性。试验结果表明,在局部区域利用高密度电流成功制备了铝纳米线阵列。由于试样制备过程中蚀刻工艺带来的误差,导致电流密度相应变化,使试样在部分区域出现了爆破现象。高温加热的试样表面产生了大量铝纳米颗粒,但是由于原子迁移强度过低,未能在对应试样中制备出铝纳米线阵列。
【作者单位】： 嘉兴学院机电工程学院;
【关键词】： 原子迁移 铝纳米线 阵列 原子积聚
【基金】：国家自然科学基金项目(51305165) 浙江省钱江人才项目(QJD1302007)
【分类号】：TB383.1;TQ133.1
【正文快照】： 0引言金属纳米材料是目前的热门研究之一[1-3],例如铜纳米线、银纳米线和铝纳米线已经成为了微机电系统(MEMS)和小型机械系统的必要组成材料。铝具有工艺性好和制备成本低的优势,因此近年来出现了众多制备铝纳米线的报道。由于铝独特的物理化学性质,因此常用的化学气相沉积法

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本文编号：1102274