有序多孔硅的制备及湿度传感性能研究
本文关键词:有序多孔硅的制备及湿度传感性能研究
【摘要】:多孔硅是具有独特结构和性能的新型无机功能纳米材料,被广泛地应用于光电器件、微电子系统、生物医学和传感领域。然而,传统腐蚀法制备的多孔硅存在孔道杂乱、尺寸无法精确控制的问题。制备孔道规整、尺寸均一可调且形态多样的有序多孔硅,从而丰富多孔硅材料的形貌和结构,以此拓宽多孔硅的应用领域,是近年来多孔硅研究的热点问题。本文以二氧化硅介孔分子筛为模板,在氩气气氛下,通过低温镁热还原法,制备了两种具有不同微观形貌和孔道结构的多孔硅,并对多孔硅的晶相组成、微观形貌和孔道结构等进行了详细的表征。最后分别将两种不同微观形态的多孔硅产物制成传感元件进行湿度传感性能研究。主要研究成果及结论如下:(1)通过系列的实验研究,优化实验参数,利用金属镁做还原剂,在650℃的较低温度下,以SiO_2:Mg=1:2.5的摩尔比进行镁热还原反应,将具有规整一维孔道结构的MCM-41二氧化硅介孔分子筛还原为多孔硅(Si-MCM-41)。研究发现,通过镁热还原反应,原模板骨架上的无定形二氧化硅转化为多晶性质的多孔硅,产物在很大程度上继承了原模板的微观形貌,并且拥有与其相似的规整孔道结构和较为均一的孔径。与原模板相比,产物多孔硅的结构较为疏松,使其拥有更高的孔隙率。(2)在同样实验条件下,通过镁热还原具有二维孔道结构的SBA-15二氧化硅介孔分子筛,成功制备了多孔硅Si-SBA-15,该产物继承了原模板的蠕虫状结构,并且拥有与其相似的规整孔道结构和较为均一的孔径。(3)分别将所得两种不同微观结构的多孔硅制成敏感元件,对其湿度传感性能进行研究,结果表明:所得两种多孔硅材料对湿度都具有较高的灵敏度,感湿范围都较广,能够探测饱和盐溶液提供的湿度范围从33%RH~95%RH,且其感湿特性曲线的分段线性度都较好,湿滞回差都较小。其中,Si-SBA-15湿敏元件的响应时间较短(吸湿40s,脱湿25s)。(4)通过镁热还原法制备的两种不同微观形态多孔硅都是多晶结构,且都在很大程度上继承了原有序介孔二氧化硅模板的微观形貌,拥有与原模板相似的规整的孔道结构。两种多孔硅对湿度都具有敏感特性,其中,Si-SBA-15湿敏元件的敏感性能更优。
【关键词】:镁热还原 有序多孔硅 制备 湿度传感
【学位授予单位】:重庆理工大学
【学位级别】:硕士
【学位授予年份】:2016
【分类号】:TQ127.2;TB383.4
【目录】:
- 摘要4-6
- Abstract6-11
- 1 绪论11-27
- 1.1 引言11-12
- 1.2 多孔硅的研究进展12-18
- 1.2.1 多孔硅的结构12-13
- 1.2.2 多孔硅的应用13-15
- 1.2.3 多孔硅的制备方法15-18
- 1.3 镁热还原法的研究进展18-19
- 1.3.1 镁热还原法制备金属单质18-19
- 1.3.2 镁热还原法制备无机材料19
- 1.4 多孔硅基传感器的研究19-23
- 1.4.1 多孔硅气敏传感20-21
- 1.4.2 多孔硅湿敏传感21-23
- 1.4.3 多孔硅有机蒸汽传感23
- 1.5 本论文的研究意义、目标及研究内容23-27
- 1.5.1 本论文的研究意义23-24
- 1.5.2 本论文的研究目标及研究内容24-25
- 1.5.3 技术路线25-27
- 2 实验部分27-31
- 2.1 实验试剂及设备仪器27-29
- 2.1.1 实验试剂27
- 2.1.2 实验设备27-28
- 2.1.3 分析仪器28-29
- 2.2 表征及性能测试29-31
- 2.2.1 X射线粉末衍射分析29
- 2.2.2 扫描电镜分析29
- 2.2.3 透射电镜分析29
- 2.2.4 能谱分析29-31
- 3 镁热还原MCM-41分子筛制备有序多孔硅31-41
- 3.1 引言31
- 3.2 MCM-41二氧化硅介孔分子筛的制备31-34
- 3.2.1 MCM-41二氧化硅介孔分子筛的制备方法31-32
- 3.2.2 MCM-41二氧化硅介孔分子筛的表征32-34
- 3.3 Si-MCM-41的制备34-40
- 3.3.1 Si-MCM-41的制备方法34
- 3.3.2 反应条件的确定34-36
- 3.3.3 产物表征36-40
- 3.4 本章小结40-41
- 4 镁热还原SBA-15分子筛制备有序多孔硅41-51
- 4.1 引言41
- 4.2 SBA-15二氧化硅介孔分子筛的制备41-44
- 4.2.1 SBA-15二氧化硅介孔分子筛的制备方法41-42
- 4.2.2 SBA-15二氧化硅介孔分子筛的表征42-44
- 4.3 Si-SBA-15的制备44-48
- 4.3.1 Si-SBA-15的制备方法44
- 4.3.2 产物表征44-48
- 4.4 本章小结48-51
- 5 多孔硅湿度传感性能的研究51-63
- 5.1 引言51-53
- 5.2 实验设计53-56
- 5.2.1 敏感元件的制备53-54
- 5.2.2 实验装置的设计54-56
- 5.3 实验过程56-57
- 5.3.1 准备工作56
- 5.3.2 多孔硅湿敏元件的感湿特性测试56-57
- 5.4 实验结果与分析57-62
- 5.4.1 湿敏元件的感湿特性测试结果57-59
- 5.4.2 湿敏元件的响应时间测试结果59-60
- 5.4.3 湿敏元件的湿滞特性测试结果60-61
- 5.4.4 湿敏元件的重复性测试结果61-62
- 5.5 本章小结62-63
- 6 结论和展望63-65
- 6.1 结论63-64
- 6.2 展望64-65
- 致谢65-67
- 参考文献67-73
- 个人简历、在学期间发表的学术论文及取得的研究成果73-74
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