球料比对钨掺杂磷酸锂靶材性能的影响

发布时间：2017-11-01 18:25

本文关键词：球料比对钨掺杂磷酸锂靶材性能的影响

【摘要】：采用常压烧结法制备W掺杂Li_3PO_4陶瓷靶材,通过改变WC磨球与Li_3PO_4粉末原料质量比大小,确定W掺杂Li_3PO_4陶瓷靶材的最佳制备工艺。通过XRD测定靶材物相结构,SEM观察靶材的断面形貌,万能实验机测量靶材的抗弯强度,维氏显微硬度仪测量靶材的维氏硬度,阿基米德排水法测量靶材密度等,对W掺杂Li_3PO_4靶材的性能进行了分析表征。研究表明,WC与Li_3PO_4球料比为2∶1的条件下获得的W掺杂Li_3PO_4陶瓷靶材的综合性能最佳,靶材的相对密度达到92.24%,抗弯强度达到38.34 MPa,维氏硬度达233.810,HV0.3。
【作者单位】：深圳大学材料学院;深圳市特种功能材料重点实验室;深圳陶瓷制备先进技术工程实验室;
【关键词】： 碳化钨 掺杂 Li_PO_靶材性能 球料比 常压烧结法 力学性能测试
【基金】：深圳市科技研发资金基础研究计划资助项目(JCYJ20140418181958489)
【分类号】：TQ131.11
【正文快照】： 0引言随着动态随机存储器(DRAMS)、微传感器、微电机械系统(MEMS)、CMOS芯片以及植入体内的医用系统等微电子器件超微型化的发展,全固态薄膜锂电池凭借着其自身的多个优点,近年来在国内外受到广泛关注,部分国家已实现工业化生产,无论是在民用还是军事上都展现出广阔的应用前景

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