Z切石英在氟化氢铵溶液中的腐蚀特性

发布时间：2018-03-07 06:41

  本文选题：微电子机械系统　切入点：湿法腐蚀　出处：《中国惯性技术学报》2017年02期 　论文类型：期刊论文

【摘要】：对Z切石英在氟化氢铵溶液中的腐蚀特性进行了研究。首先研究了Z向腐蚀速率随腐蚀温度和腐蚀液浓度的变化关系,然后研究了Z向表面腐蚀粗糙度随腐蚀深度、腐蚀液体浓度、腐蚀温度的变化规律,最后将石英在氟化氢铵溶液中的腐蚀特性跟在BHF溶液中的腐蚀特性进行了简单对比。试验结果表明:腐蚀速率随腐蚀温度和腐蚀液浓度增加而增加;Z向腐蚀表面粗糙度随腐蚀时间的增加而增加;提高腐蚀液体浓度有利于减小腐蚀表面粗糙度;提高腐蚀液体温度有利于减小表面粗糙度;石英在氟化氢铵溶液腐蚀具有更高的腐蚀效率和更小的腐蚀表面粗糙度。本研究结果能够为石英MEMS器件的设计和工艺提供有益帮助。
[Abstract]:The corrosion characteristics of Z cut quartz in ammonium hydrofluoride solution were studied. Firstly, the relationship between Z direction corrosion rate and corrosion temperature and concentration of corrosion solution was studied, and then the corrosion roughness of Z direction surface with corrosion depth was studied. The variation of corrosion liquid concentration and corrosion temperature, Finally, the corrosion characteristics of quartz in ammonium bicarbonate solution are compared with those in BHF solution. The experimental results show that the corrosion rate increases with the increase of corrosion temperature and concentration of corrosion solution. The roughness increases with the increase of corrosion time. Increasing the concentration of corrosion liquid can reduce the roughness of corrosion surface and increase the temperature of corrosion liquid to reduce the surface roughness. Quartz corrosion in ammonium bicarbonate solution has higher corrosion efficiency and smaller corrosion surface roughness. The results of this study can provide useful help for the design and process of quartz MEMS devices.
【作者单位】： 中国工程物理研究院电子工程研究所;
【基金】：中国工程物理研究院超精密实验室自主面上基金(ZZ16003)
【分类号】：TB304;TQ127.2

【参考文献】

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本文编号：1578374