单层及少层二硫化钼薄膜的制备及其气敏性能研究

发布时间：2018-03-23 18:25

  本文选题：化学气相沉积法　切入点：MoS薄膜　出处：《郑州大学学报(理学版)》2017年04期

【摘要】：通过化学气相沉积法,以MoO_3和S粉为反应物制备大面积的二硫化钼(MoS_2)薄膜,通过拉曼光谱、原子力显微镜、透射电子显微镜对产物的层数和结构进行表征,结果证明通过该方法制备的MoS_2薄膜具有单层及少层结构.气敏测试结果表明该超薄MoS_2薄膜在室温下对NO具有良好的灵敏度和选择性,对体积浓度为10、50(×10~(-6))的NO气体的灵敏度为9.3%和19.3%,响应时间(恢复时间)快,分别为281 s(298 s)和120 s(190 s),其优异的气敏性能与超薄MoS_2薄膜的高比表面积息息相关.
[Abstract]:A large area of molybdenum disulfide (MoS _ 2) thin films were prepared by chemical vapor deposition with MoO_3 and S powder as reactants. The layers and structures of the products were characterized by Raman spectroscopy, atomic force microscope and transmission electron microscope. The results show that the MoS_2 thin film prepared by this method has monolayer and less layer structure. The gas sensitivity test results show that the ultrathin MoS_2 film has good sensitivity and selectivity to no at room temperature. The sensitivity of no gas is 9.3% and 19.3s, the response time (recovery time) is 281sm ~ (298s) and 120 sm ~ (190) s ~ (-1), respectively. Its excellent gas sensitivity is closely related to the high specific surface area of ultra-thin MoS_2 films.
【作者单位】： 郑州大学物理工程学院;
【基金】：国家自然科学基金项目(11504331)
【分类号】：TB383.2;TQ136.12

【相似文献】

相关期刊论文 前10条

1 牛新书,杜卫平,杜卫民,蒋凯;纳米ZnO的制备及其气敏性能[J];应用化学;2003年10期

2 沈瑜生;吴以成;黄炯;王弘;曾桓兴;杨承宗;;TiO_2制备方法对气敏性能的影响[J];化学传感器;1987年02期

3 张耀华,李民强;热处理对SnO_2胶体薄膜结构和气敏性能的影响[J];功能材料与器件学报;1997年03期

4 杨留方,李星,赵鹤云,吴兴惠;超细MgFe_2O_4复合氧化物的气敏性能研究[J];传感器技术;2004年11期

5 龚晓钟,汤皎宁,马晓翠,刘剑洪,黄建军,柳文军;纳米ZrO_2的性能及其气敏性的研究[J];化学工程师;2000年04期

6 王燕;景志红;吴世华;黄唯平;张守民;王淑荣;;不同方法掺杂Au对纳米α-Fe_2O_3气敏性能的影响[J];物理化学学报;2006年01期

7 杨留方,李星,赵鹤云,吴兴惠;MgFe_2O_4纳米复合氧化物的制备和气敏性能[J];硅酸盐学报;2004年12期

8 赵建峰;桂阳海;豆娜;高圣涛;;纳米WO_3掺杂CNTs材料的制备及其气敏性能测试[J];广州化工;2012年19期

9 贺辛亥;张雄斌;王蒙;姜凤阳;王俊勃;杨敏鸽;苏晓磊;齐乐华;;模板改性对SnO_2遗态陶瓷孔结构及气敏性的影响[J];功能材料;2014年09期

10 毛永强;王继仁;李娜;张春华;梁晓彤;杨柳;;钴掺杂二氧化锡溶剂热法制备及其气敏性能研究[J];化工新型材料;2014年07期

相关会议论文 前1条

1 林毓韬;徐涛;朱忠其;柳清菊;;微波化学法制备Ag-LaFeO_3的甲醛气敏性能研究[A];战略性新兴产业的培育和发展——首届云南省科协学术年会论文集[C];2011年

相关博士学位论文 前3条

1 林栎阳;半导体NiO及其复合氧化物的水热合成及电化学与气敏性能研究[D];重庆大学;2015年

2 刘继江;氧化铟材料的形貌可控制备及其乙醇气敏性能研究[D];哈尔滨工业大学;2015年

3 孙立辉;LaFeO_3基氧化物对还原性气体的气敏性与机制研究[D];山东大学;2013年

相关硕士学位论文 前10条

1 祁晴晴;氧化钼微结构控制合成及气敏性能[D];天津理工大学;2015年

2 陈超;掺杂MoO_3纳米晶体及MoO_3复合物的制备及其气敏性能研究[D];北京化工大学;2015年

3 张春丽;生物模板法氧化物敏感材料的制备及其气敏特性研究[D];大连理工大学;2015年

4 牛欣s，

本文编号：1654646