长脉宽激光切割聚晶立方氮化硼工艺研究
本文选题:激光技术 + 激光切割 ; 参考:《激光技术》2017年03期
【摘要】:为了获得聚晶立方氮化硼(PCBN)最优的激光切割质量和切割效率,依据烧蚀直径和入射激光脉冲能量的函数关系,得出PCBN烧蚀阈值为1.796J/cm~2。采用Nd∶YAG激光器对型号为BN250的PCBN进行切割试验,分析了切割速率、激光功率以及脉冲频率对切割质量的影响规律。通过切缝的显微观测对比,总结出不同激光工艺参量下PCBN缝宽的变化趋势。结果表明,对于脉宽为100μs的激光,当激光功率为28W、脉冲频率为60Hz、切割速率为20mm/min时,能够获得PCBN激光切割的最优切缝和较高的切割效率。该工艺方法和数据的建立,对今后PCBN或其它超硬材料的激光加工有着重要参考价值。
[Abstract]:In order to obtain the optimum laser cutting quality and cutting efficiency of polycrystalline cubic boron nitride (PCBN), according to the functional relationship between ablation diameter and incident laser pulse energy, the PCBN ablation threshold is 1.796 J / cm ~ (-2). The Nd:YAG laser was used to cut the PCBN with BN250. The influence of cutting rate, laser power and pulse frequency on the cutting quality was analyzed. The variation trend of PCBN slit width under different laser processing parameters is summarized by comparing the microscopical observation of cutting seam. The results show that when the laser power is 28W, the pulse frequency is 60Hz and the cutting rate is 20mm/min, the optimal cutting slit and high cutting efficiency can be obtained for the laser with a pulse width of 100 渭 s. The establishment of the process method and data has important reference value for laser processing of PCBN or other superhard materials in the future.
【作者单位】: 北京科技大学机械工程学院机械制造及自动化系;苏州新火花机床有限公司;
【基金】:北京市自然科学基金资助项目(3162020)
【分类号】:TG485
【参考文献】
相关期刊论文 前9条
1 陈永杰;王海阔;彭进;徐三魁;邹文俊;邵华丽;夏学锋;;聚晶立方氮化硼的制备方法及应用进展[J];金刚石与磨料磨具工程;2015年02期
2 季凌飞;凌晨;李秋瑞;吴燕;闫胤洲;鲍勇;蒋毅坚;;皮秒激光工程应用研究现状与发展分析[J];机械工程学报;2014年05期
3 黄福民;谢小柱;魏昕;胡伟;苑学瑞;;半导体晶圆激光切割新技术[J];激光技术;2012年03期
4 姜伟;盘瑛;李立惟;林峰;;压力对立方氮化硼复合片耐磨性和导电性的影响[J];超硬材料工程;2011年03期
5 赵清亮;姜涛;董志伟;樊荣伟;于欣;罗健;;飞秒激光加工SiC的烧蚀阈值及材料去除机理[J];机械工程学报;2010年21期
6 吴煜;张高峰;;聚晶金刚石的Nd:YAG激光切割与电火花线切割损伤分析[J];中国机械工程;2010年09期
7 刘燕;吕智;郭桦;林峰;;对我国PCBN材料发展的战略思考[J];工具技术;2008年08期
8 何黑虎;吕智;林峰;冯吉福;;影响PcBN可加工性的因素[J];超硬材料工程;2007年02期
9 肖露,曾孟雄,吴海华,思海兵,文东辉;PCBN刀具切割工艺的研究[J];工具技术;2005年10期
【共引文献】
相关期刊论文 前10条
1 郭强;贾志新;高坚强;黄金刚;刘文彪;权万龙;;聚晶金刚石复合片激光切割工艺研究[J];激光与红外;2017年06期
2 刘劲松;朱志强;时威;;晶圆盒中晶圆位置检测技术的研究[J];制造业自动化;2017年04期
3 王亭入;季凌飞;燕天阳;林真源;王文豪;李健;蒋毅坚;;532nm短/超短脉冲激光作用于蓝宝石的研究[J];应用激光;2017年02期
4 贾志新;黄金刚;高坚强;房泽旭;张亚洲;崔子月;;长脉宽激光切割聚晶立方氮化硼工艺研究[J];激光技术;2017年03期
5 滕凯;孙涛;赵恩兰;何敏;;聚晶金刚石复合片电火花线切割加工电极丝损耗研究[J];中国机械工程;2016年24期
6 张燕;夏志辉;徐东鸣;;PCBN刀具高速精密切削W-Ni-Fe合金的性能研究[J];粉末冶金工业;2016年06期
7 陈剑彬;沈剑云;王江全;徐西鹏;;超声振动对单晶硅锯切比能的影响[J];材料科学与工艺;2017年01期
8 谢文玲;郭翠霞;周顺勇;张宏志;;工作液电导率对黄铜表面质量的影响[J];特种铸造及有色合金;2016年08期
9 刚肖;;皮秒激光在微纳加工中的应用现状与展望[J];科技视界;2016年23期
10 王晶;成来飞;刘永胜;刘小瀛;张青;;碳化硅陶瓷基复合材料加工技术研究进展[J];航空制造技术;2016年15期
【二级参考文献】
相关期刊论文 前10条
1 冯飞;谢辉;徐华鸣;方海江;张迎九;;淬火钢加工用PCBN新材料的研制[J];金刚石与磨料磨具工程;2014年02期
2 王宝宝;沈浩;魏文静;;PCBN刀具断续干式切削淬硬钢Cr12MoV切削力研究[J];工具技术;2013年11期
3 时志旗;;PCBN刀片在制动盘加工中的有效利用[J];科技传播;2013年12期
4 班新星;谢欢;纪莲清;刘书锋;;PcBN材料及其刀具研究进展[J];热加工工艺;2012年24期
5 倪福君;关怡娟;张鹏立;王佳明;黄文明;孙承东;;立方氮化硼刀具在加工水压机高低压阀中的应用[J];科技资讯;2012年17期
6 李启泉;张旺玺;;PcBN加工淬硬钢刀具材料的研究[J];金刚石与磨料磨具工程;2011年06期
7 王国彪;;光制造科学与技术的现状和展望[J];机械工程学报;2011年21期
8 季凌飞;闫胤洲;鲍勇;陈晓川;蒋毅坚;;致密Al_2O_3陶瓷厚板激光离散通孔密排无损切割新技术研究[J];中国激光;2011年06期
9 钟敏霖;范培迅;;激光纳米制造技术的应用(邀请论文)[J];中国激光;2011年06期
10 陈发良;李东海;;基于Fokker-Planck方程的电介质材料短脉冲激光破坏机制分析[J];强激光与粒子束;2011年02期
【相似文献】
相关期刊论文 前10条
1 市濑多章;若i拍,
本文编号:1919238
本文链接:https://www.wllwen.com/kejilunwen/huagong/1919238.html