基于吹塑成型方法的微玻璃空腔的设计与制备

发布时间：2018-07-29 09:13

【摘要】：根据硼硅酸盐玻璃的内部结构特殊性和热学性质,设计并制备出两种3D微玻璃空腔,主要讲述了3D微玻璃空腔的设计过程和吹塑成型的制备方法。CORNING Pyrex 7740玻璃是硼硅酸盐玻璃的代表。将硅片进行深硅刻蚀形成深槽,并与7740玻璃进行常压下的阳极键合,形成微空腔;将得到的微空腔放入真空退火炉中进行退火,使玻璃空腔内部空气膨胀,最终形成3D微玻璃空腔。经过实验得到的两种3D微玻璃空腔表明其制备工艺的可行性,将制备出的3D微玻璃空腔运用到导航器件的设计和微结构的封装等方面,具有比较好的发展前景。
[Abstract]:According to the internal structure and thermal properties of borosilicate glass, two kinds of 3D microglass cavities were designed and fabricated. The design process of 3D microglass cavity and the preparation method of blow molding. Corning Pyrex 7740 glass is the representative of borosilicate glass. The silicon wafer is etched with deep silicon to form deep grooves, and the 7740 glass is bonded under normal pressure to form a micro-cavity, and the resulting micro-cavity is placed in a vacuum annealing furnace for annealing, so that the air inside the glass cavity expands. Finally, the 3D microglass cavity is formed. Two kinds of 3D microglass cavities obtained by experiments show the feasibility of the fabrication process. The 3D microglass cavity can be used in the design of navigation devices and the encapsulation of microstructures, which has a good prospect of development.
【作者单位】： 中北大学电子测试技术重点实验室;
【基金】：国家自然基金项目(NSFC 61604134) 山西省自然基金项目(SXNSF 2015021114)
【分类号】：TQ171.6

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本文编号：2152208