氟硅酸盐制取四氟化硅的研究进展

发布时间：2018-10-17 20:13

【摘要】：SiF_4多被应用于电子行业和半导体行业,氟硅酸盐制备SiF_4是制备方法中的一种。本文介绍了氟硅酸盐的性质,制备方法,以及氟硅酸盐制备SiF_4的方法,并对部分氟硅酸盐制备SiF_4的条件及产物进行了对比。
[Abstract]:SiF_4 is widely used in electronics and semiconductor industries. Fluorosilicate preparation of SiF_4 is one of the preparation methods. In this paper, the properties and preparation methods of fluorosilicate and the method of preparing SiF_4 by fluorosilicate are introduced, and the conditions and products of some fluorosilicate to prepare SiF_4 are compared.
【作者单位】： 贵州大学化学与化工学院;贵州理工学院化学工程学院;
【分类号】：TQ127.2

【参考文献】

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【共引文献】

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【二级参考文献】

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本文编号：2277830