碳纳米管接触电阻的研究进展

发布时间：2017-07-20 14:12

  本文关键词：碳纳米管接触电阻的研究进展

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【摘要】：与金属之间过高的接触电阻是影响碳纳米管在微纳电子器件中应用的关键因素之一,本文从形成机理和改善方法两个方面综述了近年来碳纳米管接触电阻的研究进展。介绍了利用第一性原理对碳纳米管与金属界面电子输运性能的理论研究,以及金属功函数对界面势垒调试作用的实验研究。研究表明金属与碳纳米管之间具有较弱的杂化作用和较长的接触长度时,接触电阻较小;金属与碳纳米管功函数越接近,势垒高度越低。阐述了超声焊接技术、高温退火法、金属沉积法、局部焦耳热法等常用降低碳纳米管接触电阻方法的作用机理,并分析了这些方法对器件性能的改善作用。其中局部焦耳热法操作简单、易于自动化、对器件损害小、成本低,是目前比较理想的降低碳纳米管接触电阻的方法。
【作者单位】： 华北理工大学机械工程学院;
【关键词】： 碳纳米管 接触电阻 第一性原理 功函数 降阻方法
【基金】：国家自然科学基金(51172062,51472074) 河北省引进海外高层次人才“百人计划”资助项目(E2012100005)
【分类号】：TQ127.11;TB383.1
【正文快照】： 由于理想的一维结构和独特的物理、化学性质[1-3],碳纳米管有望被广泛应用于场效应管和传感器等各种微纳电子器件中[4]。例如,Fu等[5]以铁电极为栅极制成了具有存储功能的碳纳米管场效应管;Stampfer等[6]制作了碳纳米管压力传感器,并实现了0~130 k Pa的高精度压力测量。碳纳米

【相似文献】

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1 齐文凯;;电解槽阳极接触电阻测量方法比较[J];氯碱工业;1990年04期

2 К.К.Дубовиков;博长;;电极接头处接触电阻的模型[J];炭素技术;1988年02期

3 赖龙君,陈绍同;锡铈/DJB-823涂层代银[J];材料保护;1989年07期

4 谭俊;邢汝鑫;钱耀川;;磁控溅射CrNx薄膜的接触电阻及其耐腐蚀性能[J];中国表面工程;2010年06期

5 ;[J];;年期

，

本文编号：568409