表面修饰金刚石薄膜导电性研究进展

发布时间：2017-07-26 05:23

  本文关键词：表面修饰金刚石薄膜导电性研究进展

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【摘要】：表面经过不同化学修饰,金刚石薄膜会表现出不同的表面导电性能。这使得其在平面微电子、微电化学器件开发方面有着广阔的应用前景。总结国内外的研究,结合近年来的研究成果,详述了不同表面修饰金刚石薄膜的实现方法,讨论了表面修饰金刚石薄膜的几何结构和电子结构,并对当前有关表面修饰金刚石薄膜导电机理的主要观点进行了分析。在此基础上,提出了今后不同表面修饰金刚石薄膜导电性的研究重点。
【作者单位】： 北方工业大学机械与材料工程学院;
【关键词】： 金刚石 表面修饰 导电性
【基金】：国家自然科学基金资助项目(50575004) 北京市自然科学基金资助项目(3162010)
【分类号】：TQ163;TB383.2
【正文快照】： 0引言金刚石具有原子密度大、硬度高、弹性模量大、带隙宽、导热性好和摩擦系数小等特点,非常适用于制作工具涂层、大功率激光器、表面波器件以及光学窗口材料等,受到研究者的广泛关注。同时,由于化学气相沉积工艺的出现和掺杂技术的发展,导电性良好的金刚石薄膜实现了常压低

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本文编号：574894