新型金黄色富硅氮化硅阳光控制膜的制备及性能

发布时间：2017-07-27 18:06

  本文关键词：新型金黄色富硅氮化硅阳光控制膜的制备及性能

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【摘要】：采用磁控溅射方法,以纯Si作为靶材,Ar和N_2为溅射气体在3 300 mm宽幅的玻璃基片上制备出大面积均匀的金黄色阳光控制膜。利用X射线衍射、X射线光电子能谱和椭偏仪对不同工艺参数下薄膜的结构、组成和光学参数进行了表征。结果表明:金黄色阳光控制膜的主要成分为富硅氮化硅相;溅射功率和溅射气体通过影响薄膜中硅/氮化硅含量比而改变薄膜的外观颜色。优化工艺条件下制备的金黄色阳光控制膜的色度指标为L*=62.4,a*=4.5,b*=31.6,遮阳系数可达0.59,具有良好的装饰和节能效果。
【作者单位】： 威海中玻镀膜玻璃股份有限公司;山东大学威海分校;
【关键词】： 阳光控制膜 氮化硅 磁控溅射 玻璃基片
【分类号】：TQ171.1;TB383.2
【正文快照】： 金黄色的产品一直受到大众的喜爱,尤其是与黄金具有类似颜色的金黄色更加吸引人的眼球。现今,已有很多的装饰品、产品都有金黄色的款式。一款金黄色的镀膜玻璃能够增加市场上玻璃产品颜色的多样性。目前,侯俊英等[1]利用氮化钛采用多弧离子镀的方法制备了金黄色膜层,孙维连等[

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本文编号：582681