水射流激光复合刻蚀陶瓷的研究

发布时间：2017-09-08 13:14

  本文关键词：水射流激光复合刻蚀陶瓷的研究

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【摘要】：为了改善激光直接刻蚀过程中形貌普遍较差的问题,采用水射流激光复合刻蚀的方法,以Si C复相陶瓷和Al2O3陶瓷为研究材料,分析了有无水射流条件下的形貌差异以及不同成分陶瓷的形貌差异,并在此基础上研究了水射流流速对刻蚀深度和蚀除量的影响。结果表明,直接刻蚀时,大量熔渣附于刻蚀表面,刻蚀形貌较差,Si C复相陶瓷60%以上直接气化分解,熔渣较少,形貌稍好于Al2O3陶瓷;复合刻蚀时,刻蚀形貌有所变好,且水射流流速在24m/s时的形貌要好于16m/s时的;水射流流速越大,材料的刻蚀深度和蚀除量越小,流速每增大2m/s时,材料的蚀除量平均减少0.066mm3左右,相同流速下,Si C复相陶瓷的蚀除量比Al2O3陶瓷大0.4mm3左右。此研究对提高刻蚀形貌和分析不同陶瓷的刻蚀机理是有帮助的。
【作者单位】： 江南大学机械工程学院;
【关键词】： 激光技术 复合刻蚀 SiC复相陶瓷 AlO陶瓷 水射流
【基金】：国家自然科学基金资助项目(51175229)
【分类号】：TQ174.6;TN249
【正文快照】： 引言Si C复相陶瓷是在Si C基体中引入第二相(颗粒、晶须等),可以显著增加材料的强度、硬度、断裂韧性和耐磨性[1-4],但作为难加工材料,和Al2O3陶瓷一样,传统的磨削、车削等加工方法中经常会出现切削力大、温度上升快、砂轮磨损严重、材料断裂、加工表面粗糙等问题[5-6]。激光

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2 王光富,王广昌;水射流导引激光精密切割[J];光电子技术与信息;2000年02期

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本文编号：814223