N型半导体金刚石的研究现状与展望

发布时间：2017-09-12 16:32

  本文关键词：N型半导体金刚石的研究现状与展望

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【摘要】：作为半导体材料的金刚石具有宽的禁带宽度和高的热导率、介质击穿场强等优异性质,因此其应用前景广阔。P型金刚石发展较N型金刚石成熟。因为缺乏可实用的N型金刚石材料,这使得金刚石半导体器件的应用难以实现。因此N型半导体金刚石成为研究者关注的焦点。论文从掺杂元素和制备方法两方面详细介绍了国内外N型金刚石的研究现状。硼与磷或硫元素共掺杂获得N型金刚石的研究取得了较大进展;利用化学气相沉积法和离子注入法制备N型半导体金刚石研究较多且取得了一定进展。高压高温下的温度梯度法便于掺杂调控金刚石性能,因而利用该法合成N型半导体金刚石大单晶值得尝试。
【作者单位】： 河南理工大学材料科学与工程学院;焦作师范高等专科学校数学学院;焦作市激光研究所;
【关键词】： 金刚石 N型半导体 掺杂
【基金】：河南理工大学创新型科研团队支持计划(T2013-4);河南理工大学材料工程专业学位研究生专业实践示范基地(2016YJD03) 河南省教育厅重点资助(12A430010) 焦作市应用基础研究项目(212)
【分类号】：TQ163
【正文快照】： Research Status and Prospect of N TypeSemiconductor DiamondLI Shang-sheng1,XU An-tao2,WANG Sheng-yan1,LIU Shu-qiang3,YU Kun-peng1,WANG Jian-kang1,HAN Fei1(1.School of Materials Science and Engineering,Henan Polytechnic University,Jiaozuo 454000,China;2.S

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本文编号：838310