碳纳米管互连技术新进展

发布时间：2017-09-16 20:44

  本文关键词：碳纳米管互连技术新进展

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【摘要】：随着功能器件互连导线的规模逐渐扩大,导线的尺寸不断减小,量子效应明显加强,未来将导致目前采用铜互连技术的微纳功能器件无法遵循传统半导体物理的原理工作。碳纳米管凭借其独特的一维纳米结构而具有优越的电学、热学及机械等性能,有望取代铜连线而成为下一代芯片的互连导线材料,而碳纳米管的互连技术则是结构制造、功能器件制备或其组装不可或缺的重要环节,现已成为国际新材料领域的研究前沿和热点,本文详细概述碳纳米管作为互连导线的优越性能、互连形式、互连技术的最新研究进展以及应用前景。
【作者单位】： 哈尔滨工业大学机器人技术与系统国家重点实验室;哈尔滨工业大学先进焊接与连接国家重点实验室;西安交通大学机械制造系统工程国家重点实验室;
【关键词】： 碳纳米管 性能 互连 应用前景
【基金】：国家自然科学基金(51505371,51275122) 中国博士后科学基金(2014M562397,2015T81018) 中央高校基本科研业务费专项资金(xjj2015009) 陕西省博士后科研项目 机器人技术与系统国家重点实验室开放研究项目(SKLRS-2016-KF-13)~~
【分类号】：TB383.1;TQ127.11
【正文快照】： 1前言的要求,作为集成电路的互连导线最初所采用的是铝互连线[1,2],Al的电阻率仅为2.7μΩ·cm,与n+互连技术,就是将同一芯片内各个独立的元器和p+硅的欧姆接触电阻可以降至为10-6Ω/cm2,并件,通过一定的方式连接成具有一定功能的电路模且与硅和磷玻璃有很好附着性,易于沉积与，

本文编号：865350