KDP晶体单点金刚石飞切轨迹波纹误差辨识研究

发布时间：2018-04-03 16:35

  本文选题：金刚石飞切　切入点：波纹误差　出处：《振动.测试与诊断》2017年02期

【摘要】：频率辨识是消除或抑制KDP晶体超精密金刚石飞切轨迹波纹误差的重要前提。针对该问题,提出了一种基于空间频率变换的飞切轨迹波纹误差辨识方法。该方法通过提取表面飞切轨迹上的轮廓幅值,计算其波纹误差的空间频率,然后采用飞切线速度进行转换,获得时间域上的频率值,实现波纹误差特征频率的准确分离。将误差特征频率与切削振动频率、机床气浮主轴系统的固有频率进行对比分析,明确了气浮主轴在断续切削力作用下产生的自激振动和来自电机的受迫振动是导致KDP晶体金刚石飞切波纹误差的根本原因。在此基础上,通过对主轴驱动及结构的优化,工艺实验结果表明,大口径KDP晶体飞切后的PSD1(2.5~33mm)频段内波纹误差RMS值由53nm降低至12nm。
[Abstract]:Frequency identification is an important prerequisite to eliminate or suppress the corrugation error of ultra-precision diamond flight path in KDP crystal.In order to solve this problem, a new method based on spatial frequency transform is proposed to identify the corrugation error of flight path.The spatial frequency of the corrugation error is calculated by extracting the contour amplitude of the surface flight path, and then the frequency value in the time domain is obtained by using the flying tangent velocity to realize the accurate separation of the characteristic frequency of the corrugation error.The error characteristic frequency is compared with the cutting vibration frequency and the natural frequency of the machine tool air floating spindle system.
【作者单位】： 中国工程物理研究院机械制造工艺研究所;
【基金】：国家自然科学基金资助项目(51305413) 中物院科技专项资助项目(9120602) 四川省科技支撑计划资助项目(16ZC1083) 四川省科技创新苗子工程资助项目(2016RZ0047)
【分类号】：O786

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本文编号：1706012