金属氧化物半导体材料的结构调控及其传感器研究

发布时间：2023-06-28 03:37

　　自改革开放之后,我国社会经济的迅猛发展,大量化工厂和企业在城市周围出现,向空气中排放了大量的有毒有害气体,汽车和公交等交通工具穿梭在城市中向空气中排放了大量的汽车尾气,这使得环境污染问题变得十分严峻,尤其是空气质量问题已经影响了人们的日常生活,因此引发人们关注^[1,2]。人们的日常生活很有可能暴露在各种各样有害于身体的气体当中,如有机物有害气体乙醇(C₂H₅OH)、丙酮(CH₃COCH₃)、甲醛(HCHO),碳氧化物气体如一氧化碳(CO)和二氧化碳(CO₂)等,硫化物气体如二氧化硫(SO₂)、硫化氢(H₂S)等。为了能够及时监测有害气体,气敏传感器发挥了十分重要的作用,而且在工厂、住宅等常见地方得到了普遍应用。而作为气敏传感器重要核心部分的敏感材料引起了许多课题组的兴趣,尤其是金属氧化物半导体材料。金属氧化物半导体材料由于其良好的热敏性、掺杂性和其他半导体特性等优点,在气敏传感器领域具有广泛应用^[3]<...

【文章页数】：61 页

【学位级别】：硕士

【文章目录】：
摘要
abstract
第1章 绪论
    1.1 气敏传感器
        1.1.1 气敏传感器概述
        1.1.2 气敏传感器的分类及其特点
        1.1.3 气敏传感器元件的制作和性能测试
    1.2 金属氧化物半导体材料及其简介
        1.2.1 金属氧化物半导体材料概述
        1.2.2 金属氧化物半导体材料的制备方法
        1.2.3 Fe₂O₃气敏材料概述及制备方法
        1.2.4 ZnO气敏材料概述及制备方法
    1.3 本论文研究的意义和主要工作
第2章 海胆状SnO₂-Fe₂O₃复合金属氧化物的制备及其传感器研究
    2.1 引言
    2.2 海胆状SnO₂-Fe₂O₃复合金属氧化物的制备
        2.2.1 实验药品
        2.2.2 海胆状SnO₂-Fe₂O₃复合金属氧化物的制备
        2.2.3 海胆状SnO₂-Fe₂O₃复合金属氧化物的形貌结构表征
    2.3 海胆状SnO₂-Fe₂O₃基气敏传感器研究
        2.3.1 海胆状SnO₂-Fe₂O₃基气敏传感器的温度特性研究
        2.3.2 海胆状SnO₂-Fe₂O₃基气敏传感器的响应恢复特性研究
        2.3.3 海胆状SnO₂-Fe₂O₃基气敏传感器的浓度特性研究
        2.3.4 海胆状SnO₂-Fe₂O₃基气敏传感器的选择特性研究
    2.4 海胆状SnO₂-Fe₂O₃复合金属氧化物的气敏机理分析
    2.5 本章小结
第3章 不同形貌的Fe₂O₃制备及其传感器研究
    3.1 引言
    3.2 不同形貌的Fe₂O₃的制备
        3.2.1 实验药品
        3.2.2 不同形貌的Fe₂O₃的制备
        3.2.3 不同形貌的Fe₂O₃的形貌结构表征
    3.3 基于不同形貌Fe₂O₃气敏传感器研究
        3.3.1 基于不同形貌Fe₂O₃气敏传感器的温度特性研究
        3.3.2 基于不同形貌Fe₂O₃气敏传感器的响应恢复特性研究
        3.3.3 基于不同形貌Fe₂O₃气敏传感器的浓度特性研究
        3.3.4 基于不同形貌Fe₂O₃气敏传感器的选择特性研究
        3.3.5 基于不同形貌Fe₂O₃气敏传感器的稳定特性研究
    3.4 不同形貌的Fe₂O₃的气敏机理分析
    3.5 本章小结
第4章 In₂O₃-ZnO复合微米管的制备及其传感器研究
    4.1 引言
    4.2 In₂O₃-ZnO复合微米管的制备
        4.2.1 实验药品
        4.2.2 In₂O₃-ZnO复合微米管的制备
        4.2.3 In₂O₃-ZnO复合微米管的形貌结构表征
    4.3 基于In₂O₃-ZnO复合微米管的气敏传感器研究
        4.3.1 基于In₂O₃-ZnO复合微米管的气敏传感器的温度特性研究
        4.3.2 基于In₂O₃-ZnO复合微米管的气敏传感器的浓度特性研究
        4.3.3 基于In₂O₃-ZnO复合微米管的气敏传感器的响应恢复特性研究
        4.3.4 基于In₂O₃-ZnO复合微米管的气敏传感器的选择特性研究
    4.4 In₂O₃-ZnO复合微米管的气敏机理分析
    4.5 本章小结
第5章 结论与展望
参考文献
作者简介
致谢



本文编号：3835904