射频功率对氢气与反式二丁烯的低压电感耦合等离子体的影响（英文）

发布时间：2017-08-15 09:14

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【摘要】：利用等离子体聚合技术制备的GDP壳层是目前ICF靶丸的主要烧蚀层材料。为了了解GDP薄膜沉积过程中的CH等离子体的状态,采用朗缪尔探针和质谱仪对C4H8/H2等离子体的组分和状态参数进行了诊断,并对等离子体的电子能量分布函数、电子密度、电子温度等进行了深入分析。同时讨论了等离子体状态与放电参数之间的关系。研究发现,射频功率对等离子体参数有明显的影响。从10W到35W,电子密度正比于射频功率。随着射频功率的增加,在两步电离机制作用下,电子温度和等离子体电势呈现先减小后增大的变化趋势。另外,在高气压下,质谱诊断中发现了大量的稳定的小质量碎片离子,这表明在高气压下等离子体气相中的离子碎片聚合反应被抑制。
【作者单位】： 中国工程物理研究院激光聚变研究中心;
【关键词】： GDP薄膜 朗缪尔探针 质谱仪 等离子体诊断
【分类号】：O646.9
【正文快照】： In order to achieve inertial confinement fusion(ICF),the shell filled with a deuterium-tritium mixture will be heated and compressed by lasers to reach ignition.However,the materials suitable as an ablator for high energy class lasers must have particula

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本文编号：677350