定量单轴压力下单晶硅片原位拉曼谱峰测试（英文）

发布时间：2017-09-29 07:22

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【摘要】：测量获得了金刚石压腔系统中碳化钨基座单轴下的总压应力(F/N)-应变(ε/μm/m)关系:F=3.395ε+12.212(R~2=0.999 9),研制出可以在定量单轴压力下原位测试样品谱学特征的装置。利用该装置测试了单轴压力在2548.664 MPa下单晶硅片的拉曼谱峰。测试结果表明,当压力垂直于单晶硅样品[100]结晶面时,样品的519.12cm~(-1)谱峰随压力增大有规律的向高频方向偏移,谱峰频移量(Δω/cm~(-1))与压力(σ/MPa)的增加呈显著的线性关系,线性方程为σ=365.80Δω+10.19。式中的常数项在一定程度上反应了样品本身存在的残余应力;一次项系数与理论计算得到的结果存在一定差异,可能是由于本实验考虑了样品受力的定向性。Δω-σ线性关系式中的常数项可能代表两层含义:一是实验过程中存在的误差;二是在一定程度上反应了硅片本身存在的内应力的大小。
【作者单位】： 中国地震局地震预测重点实验室(中国地震局地震预测研究所);防灾科技学院;
【关键词】： 单轴压力 单晶硅片 拉曼谱峰 残余应力
【基金】：Basic research project of Institute of Earthquake Science,CEA(2012IES0404) project supported by National Natural Science Foundation of China(41104052,41373059,41373060,41174071) project supported by the Fundamental Research Funds for the Central Universities(ZY20130202)
【分类号】：O657.37;TQ127.2
【正文快照】： Introduction　　Diamond　anvil　cell(DAC)is　a　device　composed　of　a　pairof　diamond　anvils　and　some　external　mechanical　equipment.Ithas　been　widely　used　in　the　research　of　high　pressure　since　itsinvention　in　1959[1].In　the　devel

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1 王俊忠，，尹继祖，袁州兰，方可，张永照;Na_2ZnCl_4·3H_2O：Mn~（2＋）晶体EPR参量及其单轴压力效应的[J];河北师范大学学报;1994年03期

本文编号：940699