碳化硅超高温合成炉内气体流动特性研究

发布时间：2017-10-12 14:55

  本文关键词：碳化硅超高温合成炉内气体流动特性研究

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【摘要】：通过对碳热还原法合成SiC冶炼炉的复杂炉况进行数值模拟及实验,研究了单热源炉内气体流动的动态变化规律。研究表明,单热源炉内气体的流动呈现三维立体多向流规律,气体流动依次沿着:热源延伸方向、垂直热源延伸方向、环绕SiC结晶筒方向流动。根据气体流动特性,可以在环绕结晶筒气流出现的以外部分加入少量木屑,以增加气孔率,使得气体顺利向外部扩散,有利于炉内压力的释放;控制炉体长度,可以在一定程度上减少平行热源延伸方向气体流动的范围,从而缩小成品的气孔大小,提高SiC成品质量。
【作者单位】： 西安科技大学材料科学与工程学院;
【关键词】： 超高温合成炉 碳化硅 流动特性 数值模拟
【基金】：国家自然科学基金项目(51074123) 陕西省教育厅科研计划项目(12JKI0785) 榆林市产学研合作项目(2011)西安科技大学博士基金(2011QDJ022)资助
【分类号】：TQ163.4
【正文快照】： 碳化硅具有化学稳定性好、导热系数高、热膨胀系数小、耐磨性能好等诸多优越性能,被广泛应用于冶炼、半导体、压电晶体、航空航天、光伏等行业[1-5]。目前碳化硅合成的方法比较多,然而考虑到生产成本、产量、能耗等各方面因素碳热还原法依然是工业制备Si C的主要方法[6]。但碳

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本文编号：1019325