球状微米金刚石的制备过程及其场发射性能的研究

发布时间：2017-10-16 04:40

  本文关键词：球状微米金刚石的制备过程及其场发射性能的研究

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【摘要】：在纯平的陶瓷衬底上面,利用磁控溅射方法镀上一层金属钛。对金属钛层进行表面缺陷处理后,放入微波等离子体化学气相沉积腔中,利用正交实验方法制备出场发射性能最优的薄膜,通过扫描电镜、X射线衍射仪、拉曼光谱仪等仪器,研究了薄膜的微观表面形态、结构组成等,得到了该薄膜是球状微米金刚石薄膜的结论。并进一步研究了最优场发射薄膜的发射机理。
【作者单位】： 郑州师范学院物理与电子工程学院;郑州大学物理工程学院材料物理教育部重点实验室;
【关键词】： 球状微米金刚石薄膜 场致电子发射 微波等离子体化学气相沉积
【基金】：教育部科学技术重点资助项目(No.205091) 河南省科学技术成果项目(教高豫科鉴委字〔2015〕第569号) 河南省高等学校重点科研项目(项目编号:16A140039)~~
【分类号】：TQ163;TB383.2
【正文快照】： 1引言2实验在当今社会显示器的发展历程中,主要有以在纯平陶瓷衬底上通过磁控溅射的方法镀上下几种显示器:其一是阴极射线管(CRT)显示一层金属钛,经过对金属钛层充分地机械抛光,以器。它具有亮度、受外界环境影响小等优点,但它此为基底用丙酮超声清洗10 min,去离子水超声的缺

【参考文献】

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1 张天翼;许军;董佳W，

本文编号：1040678