磁控溅射沉积抗氧化、长寿命二硫化钼基复合薄膜

发布时间：2017-11-20 03:12

  本文关键词：磁控溅射沉积抗氧化、长寿命二硫化钼基复合薄膜

  更多相关文章： MoS基复合薄膜 抗氧化 高真空 摩擦学性能

【摘要】：采用磁控溅射技术制备了MoS_2,Ti/MoS_2,Pb/MoS_2和Pb-Ti/MoS_2复合薄膜.通过AFM,SEM和XRD对薄膜的形貌和结构进行分析;利用纳米压痕仪,CSM摩擦试验机和Bainano高真空摩擦试验机分析薄膜的力学和摩擦学性能,并探讨了Pb、Ti掺杂对薄膜的结构,力学和摩擦学性质的影响.结果表明:Pb-Ti/MoS_2复合薄膜具有非常致密的结构,表面光滑平整,且具有较高的硬度;Pb、Ti共掺杂显著提高MoS_2薄膜在RH75%高湿度环境下和真空环境下的摩擦学性能,在潮湿大气和真空环境下磨损率分别为未掺杂MoS_2的13%和25%,且低于单一掺杂MoS_2薄膜.PbTi/MoS_2复合薄膜优异的摩擦学性能得益于Pb掺杂元素增加薄膜结构的致密度和Ti掺杂元素提高薄膜的抗氧化和力学性能.
【作者单位】： 中国科学院兰州化学物理研究所固体润滑国家重点实验室;中国科学院大学;中国科学院宁波材料技术与工程研究所中国科学院海洋新材料与应用技术重点实验室;中国科学院宁波材料技术与工程研究所浙江省海洋材料与防护技术重点实验室;
【基金】：国家自然科学基金项目(21373249,51322508)资助~~
【分类号】：TQ136.12;TB383.2
【正文快照】： 2.中国科学院宁波材料技术与工程研究所a.中国科学院海洋新材料与应用技术重点实验室,b.浙江省海洋材料与防护技术重点实验室,浙江宁波315201;3.中国科学院大学,北京100049)Received 27 April 2016,revised 8 August 2016,accepted 22 August 2016,available online 28 Novemb

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本文编号：1205864