保温时间对定向凝固法提纯多晶硅的影响

发布时间：2017-11-26 10:17

  本文关键词：保温时间对定向凝固法提纯多晶硅的影响

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【摘要】：本文采用#3303工业硅作为定向凝固的原料提纯多晶硅锭。实验过程中保持拉锭速度和冷却水流量为常数,并分别以不同的保温时间作为试验参数进行实验。采用金相显微镜(Metalloscope)和扫描电子显微镜(SEM)对硅锭微观形貌进行表征,结果显示,硅锭的底部杂质含量最少。定向凝固过程中杂质从硅锭的底部朝着硅锭的顶部方向聚集。用电感耦合等离子体原子发射光谱法(ICP-AES)对硅锭杂质含量进行分析,结果显示,效果最好的实验保温时间是30分钟,并由此可以推断保温时间越长,硅锭中的杂质含量越少。
【作者单位】： 佛山职业技术学院电子信息系;华南师范大学化学与环境学院;
【基金】：广东省高等职业教育教学改革立项资助项目(20130301002)
【分类号】：TQ127.2
【正文快照】： 1引言目前,国内外主要的多晶硅提纯技术主要为改良西门子法[1],但是西门子法也有明显的缺点,比如耗能大、对环境污染比较严重等。为了克服西门子法的缺点,很多人开始转向寻找新的提纯方法,比如定向凝固法[2]。由于定向凝固法耗能少、对环境友好,可以很好地去除多晶硅中的金属

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