基于“回”型阴极屏蔽板的平面电铸件厚度分布均匀性研究

发布时间：2017-12-23 11:18

  本文关键词：基于“回”型阴极屏蔽板的平面电铸件厚度分布均匀性研究　出处：《兵工学报》2016年06期 　论文类型：期刊论文

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【摘要】：为进一步提高大面积平面电铸件厚度分布的均匀性,提出一种改进型电铸工艺——阴极加设"回"字型屏蔽板并做周向等幅平面运动,并对此进行了数值分析与实验研究。研究结果表明:"回"字型屏蔽板结构参数与位置参数对阴极电流密度分布有很大影响,采用改进型电铸工艺能显著改善电铸层厚度的分布特性,基于新工艺制备约为100μm厚的电铸层(大小70 mm×70 mm)的厚度差小于8%.
【作者单位】： 河南理工大学机械与动力工程学院;昆山美微电子科技有限公司;
【基金】：国家自然科学基金项目(51475149) 河南省高等院校科技创新团队支持计划项目(15IRTSTHN013)
【分类号】：TQ153.4
【正文快照】： 0引言基于电沉积原理的电铸技术是一种典型的低温特种加工技术,因具有能精确复制细微特征、微组织结构与性能易控、不受工件空间尺寸和形状限制等优点,而特别适合于薄壁类零件、复杂型面体与微细结构特征体的制造[1-2],如液体火箭发动机推力室、破甲弹药型罩、波纹管、模具、，

本文编号：1323651