改性抛光剂对光学玻璃抛光质量的影响

发布时间：2018-03-06 22:09

  本文选题：材料　切入点：表面活性剂　出处：《中国激光》2017年12期 　论文类型：期刊论文

【摘要】：为了抑制抛光粉纳米颗粒的团聚,改善抛光液的性能,使光学玻璃获得更高的抛光速率与更低的表面粗糙度,在氧化铈抛光液中添加阴离子表面活性剂梅迪兰,研究了梅迪兰质量分数对抛光液中粒子粒径、分散性以及材料去除率和抛光后光学玻璃表面粗糙度的影响。结果表明:微量梅迪兰能显著改善抛光液中粒子的分散性,抑制纳米粒子的团聚,提高抛光液的质量;当梅迪兰质量分数为0~0.32%时,随着质量分数增大,化学机械抛光速率先增大后减小,当质量分数为0.26%时达到最大值122nm/min;玻璃的表面粗糙度随着梅迪兰质量分数增加而先减小后增大,在质量分数为0.13%时达到最小值0.928nm。
[Abstract]:In order to restrain the agglomeration of polishing powder nanoparticles, improve the properties of polishing solution and make optical glass obtain higher polishing rate and lower surface roughness, the anionic surfactant Medillan was added to the cerium oxide polishing solution. The effects of the mass fraction of Medillan on the particle size, dispersion, material removal rate and surface roughness of polished optical glass were studied. When the mass fraction of Medilan is 0 ~ 0.32, the rate of chemical-mechanical polishing increases first and then decreases with the increase of mass fraction. When the mass fraction is 0.26, the maximum value is 122 nm / min. The surface roughness of the glass decreases first and then increases with the increase of the mass fraction of Medillan, and reaches the minimum value of 0.928 nm when the mass fraction is 0.13.
【作者单位】： 中国科学院上海光学精密机械研究所高功率激光物理联合实验室;中国科学院大学;上海科技大学物质科学与技术学院;
【基金】：国家国际科技合作专项项目(2010DFB70490)
【分类号】：TL632;TQ171.7

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本文编号：1576694