ALON高陡度薄壁保形非球面的超精密磨削工艺

发布时间：2018-03-28 00:18

  本文选题：高陡度薄壁结构　切入点：保形非球面　出处：《光学精密工程》2017年01期

【摘要】：为了实现新型红外陶瓷ALON高陡度薄壁保形非球面的超精密磨削加工,首先根据ALON的材料属性和高陡度薄壁保形非球面的结构特性,进行了其超精密磨削加工工艺性分析,并基于有限元计算方法,完成了面向ALON高陡度薄壁保形非球面的精密夹具的设计以及关键参数的优化。然后完成了ALON的超精密磨削工艺实验,工艺实验结果表明减小工件转速和砂轮粒度都会降低ALON的平均表面粗糙度Ra值,但砂轮粒度对磨削后ALON的表面粗糙度影响更显著。最后实现了ALON高陡度薄壁保形非球面的超精密磨削加工,磨削后的ALON高陡度薄壁保形非球面的面形精度PV值为2μm,表面粗糙度Ra值可达8.6nm。
[Abstract]:In order to realize the ultra-precision grinding of new infrared ceramic ALON with high steepness thin-walled conformal aspherical surface, firstly, according to the material properties of ALON and the structural characteristics of high steepness thin-walled conformal aspheric surface, the processing technology of ultra-precision grinding was analyzed. Based on the finite element method, the design and optimization of the precision fixture for ALON high steepness thin-wall conformal aspherical surface are completed, and then the ALON ultra-precision grinding process experiment is completed. The experimental results show that the average surface roughness Ra value of ALON can be reduced by reducing the rotational speed of the workpiece and the granularity of the grinding wheel. However, the effect of grinding wheel granularity on the surface roughness of ALON after grinding is more significant. Finally, the ultra-precision grinding of ALON high steepness thin-walled conformal aspherical surface is realized. After grinding, the ALON high steepness thin-walled conformal aspherical surface accuracy PV value is 2 渭 m, and the surface roughness Ra value can reach 8.6 nm.
【作者单位】： 哈尔滨工业大学机电工程学院精密工程研究所;中国空空导弹研究院;哈尔滨工业大学航天学院光电子技术研究所;
【基金】：航空科学基金资助项目(No.20140177003) 中国博士后科学基金资助项目(No.2015T80337)
【分类号】：TQ174.6

【参考文献】

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【共引文献】

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