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基于多场耦合的旋转圆盘电极法研究酸性镀铜

发布时间:2018-11-15 15:29
【摘要】:采用多物理场耦合方法建立了旋转圆盘电极(RDE)电镀酸铜的模型,分析了电解池内不同RDE转速下的流场分布与扩散层分布特征,探讨了镀铜过程中RDE的转速及尺寸对电极表面电流密度与镀层厚度分布的影响,为电镀件表面电流密度分布和镀层厚度均匀性的研究提供理论指导。
[Abstract]:The model of copper acid electroplating with (RDE) on rotating disk electrode was established by multi-physical field coupling method. The characteristics of flow field distribution and diffusion layer distribution at different RDE speeds in the electrolysis cell were analyzed. The effects of RDE speed and size on the current density and coating thickness distribution on the electrode surface were discussed, which provided theoretical guidance for the study of surface current density distribution and coating thickness uniformity of electroplating parts.
【作者单位】: 运城学院;电子科技大学;
【基金】:运城学院院级项目(CY-2016005,YQ-2016016)
【分类号】:TQ153.14

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本文编号:2333686

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