流化床多晶硅生产车间火灾危险性研究
【学位授予单位】:西安建筑科技大学
【学位级别】:硕士
【学位授予年份】:2017
【分类号】:TQ127.2;TQ086
【图文】:
图 2.1 流化床车间生产工艺流程简图(美国 REC 公司)流化床单元包括流化床反应器、预热器,反应器顶部的排放气分离系统,器底部的产品排出系统以及其他设备。流化床单元进料包括硅烷,氢气和种晶放气主要组成是氢气,夹带有微量的硅烷,粉尘及粉末。流化床反应器在氢
车间设备布置图(美国REC公司)
【参考文献】
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本文编号:2730980
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