碳氮化法制备晶态SiCN的研究
发布时间:2020-12-13 22:40
碳氮化硅(SiCN)材料具有超高硬度、低热膨胀系数、抗氧化、耐腐蚀等优异性能,有望应用于航空、航天和石化等领域的极端环境中。但目前制备SiCN材料的主要方法是聚合物前驱体裂解法和气相沉积法,工艺复杂且成本高。本论文选用廉价易获取的硅源和碳源材料,经过高温碳氮化合成了晶态SiCN。借助XRD、XPS、FTIR、TEM和SEM等检测方法,研究合成产物的物相组成、化学键组成和显微结构,主要探讨原料种类、氮化温度和原料中硅碳比对合成SiCN的影响,分析SiCN的形成机理及其影响因素,探索制备SiCN材料的优化工艺。(1)金属硅粉与淀粉经碳氮化后能生成晶态SiCN,其成型工艺对SiCN的合成影响不大;催化剂的加入促进了Si与C的反应从而抑制了氮化过程,对SiCN的合成不利;淀粉的热解过程中SiCN的生成中起到了重要作用。(2)以金属硅粉和玉米淀粉为原料,压制成型后经不同温度碳氮化。当碳氮化温度为1350°C时,硅与玉米淀粉热解后残存的非晶碳开始反应生成β-SiC。碳氮化产物由SiC、未反应的Si及非晶碳组成。当温度达到1450°C时,产物中出现Si3N4
【文章来源】:武汉科技大学湖北省
【文章页数】:75 页
【学位级别】:硕士
【部分图文】:
Si-C-N三元相图
【参考文献】:
期刊论文
[1]氮气气氛下玉米淀粉热分解动力学参数[J]. 苑春苗,李畅,李刚,张培红. 东北大学学报(自然科学版). 2012(04)
[2]溅射辅助微波等离子体化学气相沉积SiCN晶体[J]. 万军,马志斌,曹宏,吴振辉,汪建华. 新型炭材料. 2010(01)
[3]热丝CVD生长SiCN薄膜的研究[J]. 牛晓滨,廖源,常超,余庆选,方容川. 无机材料学报. 2004(02)
[4]硅粉直接氮化反应合成氮化硅研究[J]. 李亚伟,张忻,田海兵,刘俊虎,李楠. 硅酸盐通报. 2003(01)
[5]有机硅聚合物制备的陶瓷材料高温结晶与氧化机理研究进展[J]. 林仕伟,司文捷,彭志坚,苗赫濯. 宇航材料工艺. 2002(04)
[6]溅射工艺对SiCN薄膜沉积及光性能的影响[J]. 肖兴成,宋力昕,江伟辉,彭晓峰,胡行方. 无机材料学报. 2000(04)
博士论文
[1]硅碳氮薄膜的结构及光学特性研究[D]. 彭银桥.中南大学 2013
[2]新型溶胶凝胶法制备SiCN(O)陶瓷前驱体及相应陶瓷材料的高温热行为研究[D]. 成慧杰.天津大学 2012
硕士论文
[1]SiCN薄膜的制备及其光学参数的研究[D]. 樊玎玎.西北大学 2010
[2]热丝化学气相沉积制备SiCN薄膜的研究[D]. 屈亚东.西北大学 2009
[3]无氧溶胶—凝胶合成阵列微孔SiCN陶瓷[D]. 张玉花.天津大学 2008
[4]无氧溶胶—凝胶反应合成结构可控SiCN陶瓷[D]. 谢皎.天津大学 2007
本文编号:2915303
【文章来源】:武汉科技大学湖北省
【文章页数】:75 页
【学位级别】:硕士
【部分图文】:
Si-C-N三元相图
【参考文献】:
期刊论文
[1]氮气气氛下玉米淀粉热分解动力学参数[J]. 苑春苗,李畅,李刚,张培红. 东北大学学报(自然科学版). 2012(04)
[2]溅射辅助微波等离子体化学气相沉积SiCN晶体[J]. 万军,马志斌,曹宏,吴振辉,汪建华. 新型炭材料. 2010(01)
[3]热丝CVD生长SiCN薄膜的研究[J]. 牛晓滨,廖源,常超,余庆选,方容川. 无机材料学报. 2004(02)
[4]硅粉直接氮化反应合成氮化硅研究[J]. 李亚伟,张忻,田海兵,刘俊虎,李楠. 硅酸盐通报. 2003(01)
[5]有机硅聚合物制备的陶瓷材料高温结晶与氧化机理研究进展[J]. 林仕伟,司文捷,彭志坚,苗赫濯. 宇航材料工艺. 2002(04)
[6]溅射工艺对SiCN薄膜沉积及光性能的影响[J]. 肖兴成,宋力昕,江伟辉,彭晓峰,胡行方. 无机材料学报. 2000(04)
博士论文
[1]硅碳氮薄膜的结构及光学特性研究[D]. 彭银桥.中南大学 2013
[2]新型溶胶凝胶法制备SiCN(O)陶瓷前驱体及相应陶瓷材料的高温热行为研究[D]. 成慧杰.天津大学 2012
硕士论文
[1]SiCN薄膜的制备及其光学参数的研究[D]. 樊玎玎.西北大学 2010
[2]热丝化学气相沉积制备SiCN薄膜的研究[D]. 屈亚东.西北大学 2009
[3]无氧溶胶—凝胶合成阵列微孔SiCN陶瓷[D]. 张玉花.天津大学 2008
[4]无氧溶胶—凝胶反应合成结构可控SiCN陶瓷[D]. 谢皎.天津大学 2007
本文编号:2915303
本文链接:https://www.wllwen.com/kejilunwen/huaxuehuagong/2915303.html