水热环境电沉积铁/镍铁合金工艺及镀层性能研究
发布时间:2020-12-16 00:05
电沉积铁和镍铁合金工艺由于设备简单、操作方便,已经成熟地应用于表面装饰、涂层修复中。近年来随着IC产业的蓬勃发展,电沉积铁和镍铁工艺在IC产业中也有着越来越多的应用。通过常规电沉积工艺获得的金属镀层由于表面易磨损、镀层易腐蚀等缺点,造成了资源大量的浪费。在制备纳米材料的众多方法中,水热技术制备工艺简单高效,产物结晶度高且晶粒尺寸易于控制。因此在本研究工作中,首次将水热技术与电沉积工艺结合,通过在水热体系中优化电沉积过程中晶粒的生长,来获得耐腐蚀性能优良的铁和镍铁合金。本论文研究的主要内容是在水热条件下分别采用直流电沉积和双脉冲电沉积技术电沉积铁以及镍铁合金,对电解液及镀层进行形貌、成分以及电化学性能等测试(SEM,XRD,EDS,EIS,LSV),并与传统条件下得到的镀层性能进行比较,获得水热条件与镀层性能的影响规律,并得到最佳水热电沉积工艺参数。通过实验发现,水热条件下获得的镀层在各方面的性能有显著提高,尤其是抗腐蚀性能,其中水热双脉冲技术对于镀层性能提高尤为明显。在水热温度为120℃,直流电流密度为150mA·cm-2的条件下电沉积20min后得到的铁镀层形貌...
【文章来源】:电子科技大学四川省 211工程院校 985工程院校 教育部直属院校
【文章页数】:80 页
【学位级别】:硕士
【部分图文】:
芯片结构图
图 1-2 磁控溅射系统示意图镀法法是一种常用的真空镀膜技术,常用的方法有电阻激光气相沉积。其中电阻加热蒸发法常用于铝、镁蒸发镀层性能相对较好,但采用双源蒸发时镀层防了杂质的污染,并且可用于熔点高的材料,有着广为1.7%的铝铁合金有着优良的拉升强度,其强度可积法的沉积速率高,并且不受限于靶材种类,用这
图 1-2 磁控溅射系统示意图空蒸镀法镀法是一种常用的真空镀膜技术,常用的方法有电阻加热冲激光气相沉积。其中电阻加热蒸发法常用于铝、镁等熔源蒸发镀层性能相对较好,但采用双源蒸发时镀层防腐性免了杂质的污染,并且可用于熔点高的材料,有着广泛应铁量为1.7%的铝铁合金有着优良的拉升强度,其强度可到相沉积法的沉积速率高,并且不受限于靶材种类,用这种
本文编号:2919141
【文章来源】:电子科技大学四川省 211工程院校 985工程院校 教育部直属院校
【文章页数】:80 页
【学位级别】:硕士
【部分图文】:
芯片结构图
图 1-2 磁控溅射系统示意图镀法法是一种常用的真空镀膜技术,常用的方法有电阻激光气相沉积。其中电阻加热蒸发法常用于铝、镁蒸发镀层性能相对较好,但采用双源蒸发时镀层防了杂质的污染,并且可用于熔点高的材料,有着广为1.7%的铝铁合金有着优良的拉升强度,其强度可积法的沉积速率高,并且不受限于靶材种类,用这
图 1-2 磁控溅射系统示意图空蒸镀法镀法是一种常用的真空镀膜技术,常用的方法有电阻加热冲激光气相沉积。其中电阻加热蒸发法常用于铝、镁等熔源蒸发镀层性能相对较好,但采用双源蒸发时镀层防腐性免了杂质的污染,并且可用于熔点高的材料,有着广泛应铁量为1.7%的铝铁合金有着优良的拉升强度,其强度可到相沉积法的沉积速率高,并且不受限于靶材种类,用这种
本文编号:2919141
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