光伏多晶铸锭生产过程氩气循环利用技术研究

发布时间：2021-02-12 04:16

　　多晶硅铸锭在生产中采用的氩气排空方式存在生产成本高、电力消耗大、环境污染严重的问题。基于此本文提出多晶铸锭生产中氩气循环利用技术,通过采用一套真空泵联机多台多晶硅铸锭炉的技术,研发了一套纯化单元及控制系统,实现了氩气的循环再利用。多次采集的气体实验结果表明,本文所提出的技术研究降低了生产成本,减少了氩气的浪费,在一定程度上降低了因氩气的排放对大气造成的污染,进一步实现了光伏环境友好型的绿色发展。 

【文章来源】：真空科学与技术学报. 2020,40(11)北大核心

【文章页数】：6 页

【文章目录】：
1 技术方案
2 分析测试
    2.1 测试回收气体成分
    2.2 测试仪器简介
    2.3 气体取样方法
    2.4 测试结果
3 系统设计
    3.1 真空系统的联机和抽气量的确定
        3.1.1 真空系统的联机确定
        3.1.2 最大抽气量的确定
    3.2 氩气回收系统的设计
        3.2.1 氩气纯化单元
        3.2.2 氩气脱氧原理
    3.3 控制系统设计
4 运行成本及经济效益
5 结论


【参考文献】：
期刊论文
[1]超高真空中锗衬底上铁锗化合物纳米结构的外延生长[J]. 施凯娟,邹志强,刘晓勇.  真空科学与技术学报. 2017(05)
[2]氩气流量对多晶硅定向凝固炉热场的影响[J]. 李早阳,刘立军,马文成,余庆华,李凯.  工程热物理学报. 2012(01)
[3]大型过压烧结炉氩气供应及回收净化系统[J]. 李晓,匡社颖.  湖南有色金属. 2003(01)



本文编号：3030245