电子级氯化氢精制工艺的研究进展

发布时间：2021-03-02 02:33

　　电子级氯化氢是电子工业常用的高纯化学气体,随着集成电路的快速发展,对氯化氢的杂质含量要求越来越严格。简述了电子级氯化氢的主要用途和现状,简介了工业级氯化氢的生产方法,介绍了电子级氯化氢生产过程中各种精制方法及其研究进展,主要是低温精馏法、吸附法和化学反应法。最后对三种方法进行了讨论和对比,指出了精制工艺的研究重点是针对其中不同的微量杂质选用不同的工艺或工艺组合,并展望了电子级氯化氢的国产化前景。 

【文章来源】：低温与特气. 2020,38(04)

【文章页数】：4 页

【文章目录】：
1 前言
2 氯化氢的精制方法
    2.1 低温精馏法
    2.2 选择吸附法
    2.3 化学反应法
3 总结展望


【参考文献】：
期刊论文
[1]氯化氢的纯化工艺研究进展[J]. 柳彤,彭立培,郑秋艳.  低温与特气. 2017(03)
[2]电子级高纯氯化氢的研制[J]. 张凤林.  低温与特气. 1990(02)
[3]电子级氯化氢气体研制的进展[J]. 孔祥芝.  化学试剂. 1990(03)



本文编号：3058437