基于氮化铪的耐久光学涂层研究
发布时间：2021-03-28 13:44
应用于大型红外望远镜、夜视仪、定点追踪系统以及太阳能集热器的红外反射涂层和选择性吸收涂层不但需要有良好的光学性能,还要有良好的力学及耐腐蚀等耐久性能以抵抗风沙、潮湿、酸雨和盐雾等严苛条件带来的损伤。但实际的应用中仍存在以下问题:1.在大型红外望远镜等应用中,耐久反射涂层成为日益需求的材料。但高耐久与高红外反射在某种程度上是互相矛盾的。以目前最普遍使用的反射涂层铝为例,高的自由电子浓度赋予了它极高红外反射率,但也同时带来了低硬度、低熔点和易于腐蚀等极差的环境耐久性,这归因于金属键合的本质。因此,如何获得一种既耐久又高红外反射的新型涂层材料已经成为开放的挑战。2.随着传统的化石燃料能源日渐枯竭,人们对新能源的需求不断增加。过渡金属氮化物（TMNx）优异的性能使其在太阳能集热器中扮演着越来越重要的角色。因此,如何系统的研究TMNx光学吸收和发射特性至关重要,这决定了器件的光谱选择性和应用领域。针对以上问题,我们利用磁控溅射技术制备了不同氮含量的氮化铪（HfNx）薄膜和HfNx多层膜,利用共溅射技术向岩盐相...
【文章来源】：吉林大学吉林省 211工程院校 985工程院校 教育部直属院校
【文章页数】：94 页
【学位级别】：硕士
【部分图文】：
岩盐相TMNx的原子结构图
Zr3N4的电子衍射图
C 的温度且 RN2分别为（a）20％、（b）40％时在 Si 衬底上生长的 Zr-N 薄膜 N1s 的 XPSS spectra of N1s for the Zr-N film grown on Sature of 500oC and RN2is (a) 20%, (b) 40%, (d) 100%[49]人[49]通过测试 X 射线光电子能谱（XPS）研究了电子结构。图1.3是500oC的温度时且RN2分别下在 S（i100）衬底上沉积生长的 ZrN 膜 N_1
本文编号：3105665
【文章来源】：吉林大学吉林省 211工程院校 985工程院校 教育部直属院校
【文章页数】：94 页
【学位级别】：硕士
【部分图文】：
岩盐相TMNx的原子结构图
Zr3N4的电子衍射图
C 的温度且 RN2分别为（a）20％、（b）40％时在 Si 衬底上生长的 Zr-N 薄膜 N1s 的 XPSS spectra of N1s for the Zr-N film grown on Sature of 500oC and RN2is (a) 20%, (b) 40%, (d) 100%[49]人[49]通过测试 X 射线光电子能谱（XPS）研究了电子结构。图1.3是500oC的温度时且RN2分别下在 S（i100）衬底上沉积生长的 ZrN 膜 N_1
本文编号：3105665
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