电子级多晶硅生产尾气中无定型硅的产生原因及预防措施

发布时间：2021-06-05 08:18

　　文章通过分析SiHCl₃氢还原与尾气回收工艺过程,寻找伴生无定型硅生成的客观原因;根据无定型硅少产生、早拦截的原则,提出电子级多晶硅生产中无定型硅的预防措施,可以有效减少无定型硅的产生,提高气相沉积过程循环氢气纯度,进而提升电子级多晶硅产品质量。 

【文章来源】：化工管理. 2020,(34)

【文章页数】：2 页

【部分图文】：

尾气工装

为进一步加强尾气工装对无定型硅的去除效果，通过改造尾气工装的周向孔结构的内部流道。尾气工装可以选用迷宫式结构(见图2)，利用还原炉内尾气在迷宫结构上升流动过程中的沉降作用，以及尾气流向急转的过程硅颗粒与尾气工装的壁面进行惯性碰撞，可以留下较大的硅颗粒物，也就避免了硅渣被带出还原炉，进而避免了尾气系统受到污染。无定型硅炉外净化，采用现有的气固分离技术，即机械式分离、湿法分离、电除尘以及过滤器。其中机械式分离器的净化粒级范围窄，效率不高；因还原尾气组分Si HCl3和Si Cl4极易水解产生腐蚀性介质，所以湿法分离器不适用；电除尘器受工况的影响较大，因电除尘器的占地面积较大，设备制造、安装和维护过程中的管理水平要求高，所以电除尘器的投资偏高，而且运行中容易发生存在静电聚集现象，存在一定安全隐患。所以还原炉外净化无定型硅常用方式是使用过滤器，过滤器广泛应用在高温气体净化方面，不仅因其过滤材料的耐热性能好，还因为对于颗粒拦截的效果良好，主要有袋式过滤、颗粒床过滤、多孔陶瓷过流以及多孔金属材料过滤，尤其是金属烧结过滤器(见图3)，在耐热性能、力学性能、焊接性能、加工性能和导热性能等方面均有一定优势。

无定型硅炉外净化，采用现有的气固分离技术，即机械式分离、湿法分离、电除尘以及过滤器。其中机械式分离器的净化粒级范围窄，效率不高；因还原尾气组分Si HCl3和Si Cl4极易水解产生腐蚀性介质，所以湿法分离器不适用；电除尘器受工况的影响较大，因电除尘器的占地面积较大，设备制造、安装和维护过程中的管理水平要求高，所以电除尘器的投资偏高，而且运行中容易发生存在静电聚集现象，存在一定安全隐患。所以还原炉外净化无定型硅常用方式是使用过滤器，过滤器广泛应用在高温气体净化方面，不仅因其过滤材料的耐热性能好，还因为对于颗粒拦截的效果良好，主要有袋式过滤、颗粒床过滤、多孔陶瓷过流以及多孔金属材料过滤，尤其是金属烧结过滤器(见图3)，在耐热性能、力学性能、焊接性能、加工性能和导热性能等方面均有一定优势。3 结语

【参考文献】：
期刊论文
[1]多晶硅无定型硅粉形成原因及控制[J]. 宋张佐.  云南化工. 2019(01)
[2]改良西门子法生产多晶硅工艺设计探讨[J]. 杨涛.  贵州化工. 2009(03)
[3]改良西门子法多晶硅生产中分离工艺的改进[J]. 温雅,胡仰栋,单廷亮.  化学工业与工程. 2008(02)



本文编号：3211795