浅谈多晶硅高盐水的处理工艺及运行情况
发布时间:2021-07-15 08:06
本文介绍多晶硅高盐水的处理工艺及特点,总结了除硅、脱碳、MVR蒸发、三效蒸发等工序的运行情况,提出了多晶硅高盐水处理的工艺控制参数。
【文章来源】:中国井矿盐. 2020,51(04)
【文章页数】:4 页
【部分图文】:
总体工艺路线简图
本文编号:3285328
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