浅析含氟电子气体相关标准现状及发展趋势

发布时间：2021-08-29 10:47

　　首先介绍了含氟电子气体研究现状,然后分析了含氟电子气体相关的标准情况及发展趋势。 

【文章来源】：低温与特气. 2020,38(01)

【文章页数】：6 页

【文章目录】：
0 引言
1 含氟电子气体研究现状
2 含氟电子气体相关标准现状
    2.1 国外含氟电子气体相关标准
    2.2 国内含氟电子气体相关标准
3 含氟电子气体标准发展趋势
    3.1 紧跟行业发展
    3.2 重视标准布局
    3.3 瞄准国际先进
4 结束语


【参考文献】：
期刊论文
[1]国内含氟电子化学品现状与发展趋势[J]. 潘绍忠,许响生,田志扬.  有机氟工业. 2013(01)
[2]特气业与半导体业的发展近况[J]. 林刚.  低温与特气. 2009(01)
[3]SEMI半导体材料标准的分析[J]. 贺东江.  冶金标准化与质量. 2004(05)
[4]产业发展与半导体设备和材料标准化[J]. 包成良.  电子产品世界. 2003(18)
[5]SEMI标准在中国[J].   中国集成电路. 2002(05)



本文编号：3370509