液相诱导微波合成SiC工艺研究

发布时间：2021-08-29 14:51

　　微波加热技术凭借其节能高效、清洁环保的先进加热技术优势,成为近年来备受材料制备领域关注的一种新型和环境友好型的加热方式,引起国内外学者的充分重视。通过微波加热技术制备SiC晶体已成为国内外目前的研究热点之一,但是现有技术制备SiC晶体的方法仍存在着制备工艺复杂、制备时间长、加热温度高、能耗大、污染高的缺点。本论文以正硅酸乙酯为硅源,活性炭作为反应的碳源,硼酸作为调节剂和诱导剂制备前驱体,采用XRD、SEM、TG-DSC对样品进行检测,研究了硼酸液相引入对微波加热工艺制备SiC晶体的影响规律;结合不同碳源与硅源的摩尔配比,研究了液相诱导微波加热过程中的热效应变化机理,揭示液相诱导在微波加热技术制备SiC晶体的生长动力学过程。研究结果发现:微波入射功率梯度会影响SiC晶体的形貌。当微波入射功率梯度为10 m A/min和30 m A/min时,得到团聚状态的棒状SiC晶体;当微波入射功率梯度为20 m A/min时,获得分散性良好的棒状SiC晶体;微波入射功率梯度可能会影响体系内物料的受热情况,从而使生成SiC晶体的分散情况不同。微波加热温度同样影响SiC晶体的形貌:当微波加热温度为110... 

【文章来源】：郑州航空工业管理学院河南省

【文章页数】：57 页

【学位级别】：硕士

【部分图文】：

碳化硅晶体中原子排列连接示意图

1 绪论表 1.1 微波与材料之间的相互作用Table 1.1 Different response of material to microwave作用方式 材料类型 透过深度透明型 全部反射型 不通过微波吸收型 部分或全部仅使材料的温度升高而不改变材料物化性质的作用主要表现为：主要是利用微波的高频电场不断对材料内部存在的极性分子进行重复进行极性转动，使分子极化，进而产生热效应，使材料进行加波加热的示意图在下图 1.2 中展示出。

图 2.1 活性炭的 XRD 图Figure 2.1 XRD pattern of activated carbon 2.2 显示了实验采用活性炭的 SEM 图片，从图片中可以看到，原锐，棱角分明，颗粒大小不一，且分布较为集聚。

【参考文献】：
期刊论文
[1]SiC单晶生长技术及器件研究进展[J]. 任学民.  半导体情报. 1998(04)



本文编号：3370855