单晶和多晶衬底支撑石墨烯的扫描电镜成像表征研究
发布时间：2021-08-30 15:25
石墨烯的结构和形貌特征表征是揭示其结构和性能关系的关键。SEM因其具有纳米级分辨率、观测范围大、成像速度快等优点,在石墨烯表面污染物、褶皱和缺陷观测,生长机理研究和层数鉴定等方面独具优势。但是,对于原子级厚度石墨烯的SEM成像,目前存在常规成像参数下石墨烯的图像衬度弱、石墨烯的衬度形成机制不清晰以及成像参数对石墨烯衬度的影响机制不统一等问题,导致难以实现石墨烯的高衬度SEM成像。本论文采用SEM对单晶衬底支撑石墨烯、惰性多晶衬底支撑石墨烯和非惰性多晶衬底支撑石墨烯进行表征,通过调节成像参数和调控衬底表面氧化程度,系统深入地研究了衬底支撑石墨烯的衬度形成机制,揭示了成像参数对石墨烯图像衬度的影响机制,为衬底支撑石墨烯的高衬度成像、衬底和石墨烯的正确区分以及石墨烯层数的准确鉴定提供了重要的理论指导。采用SEM系统表征了多种单晶衬底支撑石墨烯体系,包括高温热解法制备SiC基石墨烯（G/SiC）、转移SiO2/Si基石墨烯（SLG/SiO2/Si）和转移Al基石墨烯（SLG/Al）。通过优化成像参数加速电压(Vacc)和工作距离...
【文章来源】：哈尔滨工业大学黑龙江省 211工程院校 985工程院校
【文章页数】：134 页
【学位级别】：博士
【图文】：
石墨烯、富勒烯、碳纳米管及石墨结构示意图
形貌图 中心：0.8 nm；左下角：1.2 nm；左ge of single-layer graphene supported on SiO2. Ceight; yellow-brown (bottom left), 1.2 nm; orang（TEM）是目前应用最广泛的电子显微
图 1-5 SEM 结构示意图Schematic of electronic-optical system, sample chamber and detectors in 的主要成像信号的工作原理为，电子从阴极电子枪出射后，首先经加速电场
【参考文献】：
期刊论文
[1]拉曼光谱在石墨烯结构表征中的应用[J]. 吴娟霞,徐华,张锦. 化学学报. 2014(03)
[2]扫描探针显微镜在石墨烯研究中的应用[J]. 王肖沐,肖宇彬,许建斌. 电子显微学报. 2012(01)
[3]背散射电子图像分析在水泥基材料微观结构研究中的应用[J]. 王培铭,丰曙霞,刘贤萍. 硅酸盐学报. 2011(10)
[4]石墨烯外延生长及其器件应用研究进展[J]. 王霖,田林海,尉国栋,高凤梅,郑金桔,杨为佑. 无机材料学报. 2011(10)
[5]石墨烯的制备、功能化及在化学中的应用[J]. 胡耀娟,金娟,张卉,吴萍,蔡称心. 物理化学学报. 2010(08)
[6]石墨烯的功能化及其相关应用[J]. 黄毅,陈永胜. 中国科学（B辑:化学）. 2009(09)
本文编号：3373029
【文章来源】：哈尔滨工业大学黑龙江省 211工程院校 985工程院校
【文章页数】：134 页
【学位级别】：博士
【图文】：
石墨烯、富勒烯、碳纳米管及石墨结构示意图
形貌图 中心：0.8 nm；左下角：1.2 nm；左ge of single-layer graphene supported on SiO2. Ceight; yellow-brown (bottom left), 1.2 nm; orang（TEM）是目前应用最广泛的电子显微
图 1-5 SEM 结构示意图Schematic of electronic-optical system, sample chamber and detectors in 的主要成像信号的工作原理为，电子从阴极电子枪出射后，首先经加速电场
【参考文献】：
期刊论文
[1]拉曼光谱在石墨烯结构表征中的应用[J]. 吴娟霞,徐华,张锦. 化学学报. 2014(03)
[2]扫描探针显微镜在石墨烯研究中的应用[J]. 王肖沐,肖宇彬,许建斌. 电子显微学报. 2012(01)
[3]背散射电子图像分析在水泥基材料微观结构研究中的应用[J]. 王培铭,丰曙霞,刘贤萍. 硅酸盐学报. 2011(10)
[4]石墨烯外延生长及其器件应用研究进展[J]. 王霖,田林海,尉国栋,高凤梅,郑金桔,杨为佑. 无机材料学报. 2011(10)
[5]石墨烯的制备、功能化及在化学中的应用[J]. 胡耀娟,金娟,张卉,吴萍,蔡称心. 物理化学学报. 2010(08)
[6]石墨烯的功能化及其相关应用[J]. 黄毅,陈永胜. 中国科学（B辑:化学）. 2009(09)
本文编号：3373029
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