影响尾气回收装置循环氢气质量的因素分析

发布时间：2021-08-31 09:21

　　改良西门子法多晶硅生产尾气回收装置尾气粗分离单元、气体输送单元、氯化氢吸收单元、氯化氢解析单元、H₂净化单元五个单元,还原炉尾气中杂质BC1₃, PC1₃,以及单质B, P等通过烟气吸收、加压冷凝,吸收解析,氢气净化过程中从氢气中分离,提纯后氢气送至还原炉循环利用。文章通过分析5个单元工艺流程中可能存在问题,并提出改进方向可以提高循环氢气杂质去除效果,保证还原炉化学气相沉积过程中循环氢气纯度。 

【文章来源】：化工管理. 2020,(33)

【文章页数】：2 页

【部分图文】：

改良西门子法尾气回收工艺流程图

【参考文献】：
期刊论文
[1]改良西门子法尾气回收中影响氯化氢吸收因素的模拟分析[J]. 杨紫琪,张博.  化工时刊. 2016(07)
[2]增强尾气回收活性炭吸附柱再生效果的措施[J]. 李锋,邵枫.  广东化工. 2015(08)
[3]改良西门子法生产多晶硅工艺设计探讨[J]. 杨涛.  贵州化工. 2009(03)
[4]多晶硅生产中回收氢气的净化[J]. 刘建军.  有色冶炼. 2000(06)



本文编号：3374645