氟硅酸制备高纯硅副产氟化盐的工艺研究

发布时间：2021-09-02 03:11

　　概述了国内外高纯硅烷的研究进展,采用氟硅酸制备高纯硅副产氟化盐,分析了实验原料、实验方法、工艺流程、工艺关键点和创新点,对比了该工艺制备高纯硅烷和国内外超大规模集成电路VLSI用硅烷的指标。该技术创新点较多,经济效益、环境效益和社会效益都极其显著,实现了氟硅资源的高效利用。 

【文章来源】：河南化工. 2020,37(06)

【文章页数】：3 页

【部分图文】：

工艺流程图

【参考文献】：
期刊论文
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本文编号：3378187