超高纯氘气的气相色谱分析方法研究

发布时间：2021-12-30 05:43

　　对于半导体行业用超高纯氘气现无完善的分析方法。实验建立了一种基于低温气相色谱-脉冲放电检测器的超高纯氘气的分析方法。采用中心切割与柱切换技术设计了一套分析系统,可以同时对氘气中的O₂、N₂、CO、CO₂、CH₄、H₂、HD进行分析。通过实验确定了色谱的最佳工作参数和切阀时间。结果表明,该分析方法结果稳定、重现性高,可以适用于工业检验。 

【文章来源】：低温与特气. 2020,38(05)

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【部分图文】：

色谱分析流程图

在色谱分析方法优化后，结果表明:氘气中O2、CH4、N2、CO、CO2、H2、HD的保留时间分别为252 s,323 s,420 s,540 s,765 s,1324 s,1466 s，优化后的氦气标气样品谱图见图2。3.5检出限

氘气样品分析谱图


本文编号：3557592