多维色谱技术快速检测电子气中痕量气体杂质的方法研究

发布时间：2022-12-18 06:24

　　采用多维气相色谱,通过不同色谱柱的组合变换、配合反吹、中心切割等操作技术,分别对六氟化硫、四氟化碳、氢气3种电子气中的6～7种杂质检测进行了方法开发。使用气体稀释法作出了5个浓度下氢气中各组分的响应校准曲线,线性良好,最低浓度点0.05×10^-6 mol/mol时的RSD均小于10%。系统地描述了3种电子气检测方法的开发过程和经验技巧,计算了检出限,均远好于市场检测需求,其中六氟化硫各组分检出限在20.3×10^-9～30.3×10^-9 mol/mol,四氟化碳各组分检出限在16.2×10^-9～25.5×10^-9 mol/mol,氢气各组分检出限在8.1×10^-9～15.6×10^-9 mol/mol,方法重复性好、检测效率高,可作为标准操作规范向社会开放共享。 

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【文章目录】：
1 实验部分
    1.1 主要仪器与试剂
    1.2 实验方法
        1.2.1 多维色谱系统
        1.2.2 不同色谱柱组合条件下组分的保留时间
        1.2.3 气体稀释实验
2 结果与讨论
    2.1 六氟化硫气体中痕量组分的分析方法开发
    2.2 六氟化硫气体中痕量组分检出限的确定
    2.3 四氟化碳气体中痕量组分的分析方法开发
    2.4 四氟化碳气体中痕量组分检出限的确定
    2.5 氢气中痕量组分的分析方法开发
    2.6 氢气中痕量组分检出限的确定
3 结论


【参考文献】：
期刊论文
[1]一种新型汽车排气标准物质的研制[J]. 王德发,韩桥,张体强,刘智勇.  化学试剂. 2020(04)
[2]高起点、高质量发展我国IC设计业的若干思考[J]. 赵建忠.  中国集成电路. 2019(12)
[3]电子级八氟丙烷生产技术[J]. 马建修,廖恒易.  低温与特气. 2015(06)
[4]AGC氦放电离子化检测器（DID）气相色谱仪在特种气体分析中的应用[J]. 曾素芳,王非非.  低温与特气. 2011(03)



本文编号：3721529