二维材料的低温制备

发布时间：2025-01-14 00:23

　　石墨烯的发现填补了二维材料领域的空白,因其特殊的原子结构,而具有优异的电学、力学、光学等性能,一直被视为是理想的柔性电子器件材料,成为许多科研人员的研究热点,引起了学术界的研究热潮。同时也推动了其他二维材料的发现及制备,例如过渡金属二硫族化物材料中研究比较成熟的二硫化钼,由于其具有很大的带隙,在晶体管等电子器件领域具有广泛的应用前景。近年来对于二维材料的制备工作发展迅猛,主流的制备方法包括机械剥离法、液相剥离法、化学气相沉积法(chemical vapor deposition,CVD)等。其中化学气相沉积法因其相对低廉的制备成本和便捷的操作等优势,而受到许多二维材料领域的研究学者的关注。但是目前化学气相沉积法需要高温的条件,这对于工业化生产二维材料来说是一个很大的限制,因此还需要进一步发展制备方法以降低制备二维材料所需的温度,从而满足工业化生产的要求。本文通过等离子体增强化学气相沉积法(plasma enhanced chemical vapor deposition,PECVD)在铜基底上制备单层石墨烯薄膜,利用等离子体增强技术常温下活化反应气体,在较低反应温度下进行化学气相沉积形成...

【文章页数】：89 页

【学位级别】：硕士

【部分图文】：

图4-23LDH材料分子结构示意图

实现厚度的控制。我们提出了一个假设相生长或许是制备二维钙钛矿结构的最合理途径学反应能不足以直接生成钙钛矿结构氧化物如寻找能够实现液相直接生长的中间产物由于水热法合成钙钛矿氧化物过程中会直接影响材料的形貌，化学反应，制备钙钛矿铌酸盐前驱体可以通过液相化学反应形成层状结构碱金属含氧化....

图４．１：电控压电陶瓷应变施加方式

?第四章?ＦＥ３ＧＥＴＥ２应变调控下输运性质研宄???结合我们课题组在低温输运领域的积累和二维材料器件制备方面的经验。??本章将介绍低温环境下二维材料电学输运性质的应变调控研宄。主要包括原位??应变施加装置的设计和搭建、低温柔性衬底二维材料器件的加工，以及最后将??我们的测量平台....

图１．１６低温Ｑｐｌｕｓ?ＡＦＭ／ＳＴＭ及ＭＢＥ制备腔实物图片??１３??

?第一章二维材料分类及其性质概述???ｚｔ??４?Ｅｌｅｃｔｒｏｎ??ｆｊＶ?ｅＶ?ａｎａｌｙｚｅｒ??图１．１５?ＡＰＲＥＳ基本原理示意图（引自文献［６１］）??图１．１６和图１．１７所示为本论文工作中所使用的德国Ｓｃｉｅｎｔａ?Ｏｍｉｃｒｏｎ公司商??用的低温（ＬＴ）?Ｑｐｌ....

图１．１５?ＡＰＲＥＳ基本原理示意图（引自文献［６１］）??

?第一章二维材料分类及其性质概述???ｚｔ??４?Ｅｌｅｃｔｒｏｎ??ｆｊＶ?ｅＶ?ａｎａｌｙｚｅｒ??图１．１５?ＡＰＲＥＳ基本原理示意图（引自文献［６１］）??图１．１６和图１．１７所示为本论文工作中所使用的德国Ｓｃｉｅｎｔａ?Ｏｍｉｃｒｏｎ公司商??用的低温（ＬＴ）?Ｑｐｌ....

本文编号：4026127