高性能光学合成石英玻璃的制备和应用

发布时间：2017-06-30 14:19

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【摘要】：介绍了制备光学合成石英玻璃的常用工艺方法,包括化学气相沉积、等离子化学气相沉积和间接合成法等;给出了不同光学石英玻璃使用的原材料、它们的特点及其在不同领域的应用综述了该项技术在国内外的发展现状。比较了上述制备方法的优缺点,其中立式化学气相沉积工艺是目前最成熟的商业化工艺,可用于制备直径达Φ600mm以上、光学均匀性优于2×10~(-6)、抗激光损伤阈值达30J/cm2@355nm的大尺寸合成石英玻璃;等离子化学气相沉积工艺可制备内在质量优异、羟基含量≤5×10~(-6)、光谱透过率T190-4000nm≥80%的全光谱透过石英玻璃;间接合成法可制备光吸收系数小于1×10~(-6)/cm@1064nm、羟基含量≤1×10~(-6)、光谱透过率T157-4000nm≥80%的石英玻璃,而且易于掺杂及控制缺陷,进而制备各类掺杂特殊功能的石英玻璃。文章最后指出:上述制备工艺各有优缺点,应根据高端光电技术领域的应用需求采取适当的制备工艺。
【作者单位】： 中国建筑材料科学研究总院石英与特种玻璃研究院;
【关键词】： 光学石英玻璃 化学气相沉积 等离子化学气相沉积 间接合成法 综述
【基金】：国家国际科技合作专项资助项目(No.2012DFA51310) 中国建筑材料科学研究总院前沿探索基金资助项目(No.YT-112)
【分类号】：TQ171.731
【正文快照】： 1引言石英玻璃是由二氧化硅单一组分构成的特种工业技术玻璃,具有一系列特殊的物理和化学性能,并被新材料领域专家誉为“玻璃之王”。其优点如下:极佳的光谱特性,从紫外到红外极宽的光谱范围内的光学透过能力(T157-4000nm≥80%),尤其在紫外和深紫外光谱范围内的透过性能是一般

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本文编号：502253