固结磨料抛光LBO晶体非水基抛光液优化

发布时间：2017-07-19 23:22

  本文关键词：固结磨料抛光LBO晶体非水基抛光液优化

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【摘要】：三硼酸锂(LBO)晶体是优良的非线性光学晶体材料,抛光后晶体表面水份残留导致晶体潮解,影响器件的使用性能。采用非水基抛光液固结磨料抛光LBO晶体,降低水含量,研究非水基抛光液中去离子水、乳酸、双氧水等含量对材料去除率和表面粗糙度的影响,并综合优化得到高材料去除率和优表面质量的抛光液组分。研究表明,抛光液中去离子水浓度16%、乳酸22%、双氧水5%为最优抛光液组分,采用优化的抛光液固结磨料抛光LBO晶体的材料去除率达到392nm/min,表面粗糙度为0.62nm,实现了LBO晶体表面的高效高质量抛光,同时避免了抛光过程中水的大量使用。
【作者单位】： 南京航空航天大学机电学院;中国科学院理化技术研究所功能晶体与激光技术重点实验室;
【关键词】： 固结磨料抛光 非水基抛光液 材料去除率 表面粗糙度
【基金】：国家自然科学基金资助项目(51175260) 中国博士后科学基金资助项目(2014M551586) 江苏省博士后科研计划资助项目(1302069B)
【分类号】：TQ131.11;O786
【正文快照】： 0引言三硼酸锂(LiB3O5、LBO)晶体是具有优良性质的非线性光学晶体材料,其因透光范围宽、损伤阈值高、接受角大、倍频转换效率高等特点,在近红外、可见光和紫外波段高功率激光的倍频、和频、参量振荡和放大器件以及腔内倍频器件等领域中有着广泛的应用[1-2]。LBO晶体属于软脆材

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1 吉小超;张伟;于鹤龙;魏敏;汪勇;郭永明;;45钢在超细SiC颗粒作用下的正向冲蚀行为[J];中国表面工程;2012年05期

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本文编号：565335