一种简单的溶胶-凝胶法制备二氧化锆介质层

发布时间：2017-07-20 13:06

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【摘要】：在电子产业中,能够进行低压操作以及能够在非常薄的薄层上进行器件设计的材料备受关注.并且,这些材料需要使用方法简单、快速、可靠.作者提出一种简单且快速可靠的沉积高k二氧化锆介电层的方法.整个过程从原来常规过程的140分钟缩短到10分钟.这种改进的方法在操作流程方面有显著的提升.这种溶胶凝胶法制备的样品介电层厚度远小于与之前报道的样品,其厚度约为原方法制备样品的25%.在优化操作过程与降低介电层厚度的同时,二氧化锆的介电性质并没有被影响.作者进一步研究了样品的介电特性,在90K到300K之间介电性质的变化小于10%.
【作者单位】： 四川大学物理科学与技术学院;
【关键词】： 二氧化锆 溶胶-凝胶法 电介质
【基金】：国家自然科学基金(61404088)
【分类号】：TQ134.12
【正文快照】： 1引言现代电子学中,特别是触摸屏和未来的透明显示屏领域,需要大量使用透明材料,这些技术是建立在较高的可见光传输系数或者特别薄的薄膜厚度基础上的.典型的应用如有源矩阵显示[1],柔性电子学[2,3],忆阻器[4]和传感器[5],这些技术通常需要用到透明的氧化半导体,如锌氧化锡、

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