二氧化钒纳米周期点阵的光学特性

发布时间：2017-07-27 13:29

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【摘要】：为了得到相变温度低且性能优越的智能窗光学材料,基于时域有限差分法模拟计算了不同结构的VO_2纳米周期点阵相变前后的光学特性,优选出最佳的VO_2纳米周期点阵结构.采用直流磁控溅射和后退火工艺在玻璃衬底上制备VO_2薄膜,再利用掩膜光刻的方法制备VO_2纳米周期点阵结构,测试其组分结构,反射和透过率曲线.结果表明,填充比为0.74的圆形纳米周期点阵的相变温度有效降低了约25℃,在波长为1700 nm处的透过率改变量达到39%,透过率整体高于VO_2薄膜,呈现出良好的相变光学特性,说明通过调控VO_2纳米周期点阵的结构可以有效提升材料的光学特性.
【作者单位】： 上海理工大学光电信息与计算机工程学院;上海市现代光学系统重点实验室;上海电力学院计算机与信息工程学院;
【关键词】： VO 纳米周期点阵 光学特性 热致相变
【基金】：国家“863”计划(2006AA03Z348) 教育部科学技术研究重点项目(207033) 上海市科学技术委员会科技攻关计划(06DZ11415) 上海市教育委员会科技创新重点项目(10ZZ94) 上海市领军人才计划资助项目~~
【分类号】：TQ135.11;TB383.1
【正文快照】： 引言VO2薄膜高于相变温度时呈金属态,低于相变温度时呈半导体态.相变是其晶体结构从单斜晶结构转变为四方晶结构的过程[1],同时,这种相变特性也导致了光学特性的显著变化,具体体现为在红外波段相变前后的透过率变化很大,在可见光区域图的变化不大1由YEE元胞组成的VO.因此,基于

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本文编号：581673