蓝宝石基片的磁流变化学抛光试验研究

发布时间：2017-07-31 02:07

  本文关键词：蓝宝石基片的磁流变化学抛光试验研究

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【摘要】：分析了磁流变化学抛光的加工机理,对蓝宝石基片的磁流变化学抛光进行了试验研究。结果表明:磁流变化学抛光可将蓝宝石基片加工到亚纳米级粗糙度的超光滑镜面,材料去除率受化学反应速率和剪切去除作用共同影响,化学反应速率越快,剪切去除作用越强,材料去除率越高;混有硅胶溶液与α-Al2O3磨料的磁流变化学抛光液去除率最高;材料去除率随工作间隙,励磁间隙以及加工时间的增大而减少,随铁粉浓度减少而减少;利用磁流变化学抛光方法加工蓝宝石基片可获得Ra 0.3 nm的超光滑表面。
【作者单位】： 湖南大学国家高效磨削工程技术研究中心;大连理工大学精密与特种加工教育部重点实验室;长沙纳美特超精密制造技术有限公司;
【关键词】： 蓝宝石基片 磁流变化学抛光 材料去除率 超光滑镜面
【基金】：国家自然科学基金(51205120) 国际科技合作与交流专项(2014DFG72480) 大连理工大学精密与特种加工教育部重点实验室开放基金资助项目
【分类号】：TQ163
【正文快照】： 0前言*近年来,蓝宝石作为一种重要的技术晶体,已被广泛应用于红外军事装置、卫星空间技术、高强度激光装置的窗口材料等国防领域,同时也广泛运用在半导体Ga N/Al2O3发光二极管(LED)、大规模集成电路SOI和SOS及超导纳米结构薄膜等民用领域[1-3]。特别是随着LED技术的快速发展,

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