硅芯制备技术及对沉积多晶硅棒杂质的影响

发布时间：2017-08-09 00:02

  本文关键词：硅芯制备技术及对沉积多晶硅棒杂质的影响

  更多相关文章： 硅芯 杂质分凝 杂质挥发 坩埚污染

【摘要】：本文介绍了改良西门子法多晶硅生产中的硅芯制备技术,包括区熔法硅芯制备技术和切割法硅芯制备技术。简要介绍了两种硅芯制备技术的工艺流程,并对两种不同技术路线制备硅芯过程中的杂质分凝、挥发及坩埚污染进行了比较。根据分析结果,采用区熔硅芯能在一定程度上降低硅芯对硅棒的杂质贡献。
【作者单位】： 昆明理工大学材料科学与工程学院;昆明冶研新材料股份有限公司;云南省光电子硅材料制备技术企业重点实验室;
【关键词】： 硅芯 杂质分凝 杂质挥发 坩埚污染
【基金】：云南省科技厅省院省校科技合作专项资助项目(2014IB003)
【分类号】：TQ127.2
【正文快照】： 1引言多晶硅产业是敏感的战略性产业。全球约10亿美元的多晶硅材料支撑起了大约150亿美元的半导体材料工业,这些半导体材料又支撑起了约4000亿美元的微电子产业和2000亿美元的电力电子产业[1]。2003年以后,光伏产业爆发式增长,促进了多晶硅产业的快速发展。2012年,全球光伏装

【参考文献】

中国期刊全文数据库 前6条

1 易俊;陈鹏;马向阳;杨德仁;;n型补偿直拉单晶硅的电子迁移率[J];材料科学与工程学报;2015年01期

2 Dominic LEBLANC;Karol PUTYERA;;一种新的补偿硅电阻率/掺杂浓度模型(英文)[J];Transactions of Nonferrous Metals Society of China;2011年05期

3 朱黎辉;;国内外半导体硅材料与技术的发展近况[J];中国建设动态(阳光能源);2007年04期

4 蒋荣华;国内外半导体硅材料最新发展状况[J];新材料产业;2002年07期

5 梁骏吾;电子级多晶硅的生产工艺[J];中国工程科学;2000年12期

6 樊铭德;;真空悬浮区熔硅中磷的衰减极限及其意义[J];上海冶金;1979年01期

【共引文献】

中国期刊全文数据库 前10条

1 史冰川;董俊;李昆;黄磊;亢若谷;邱建备;;硅芯制备技术及对沉积多晶硅棒杂质的影响[J];材料科学与工程学报;2016年03期

2 李昆;史冰川;董俊;黄磊;亢若谷;邱建备;;直拉硅单晶制备中来自于石英坩埚的受主杂质污染定量分析[J];云南冶金;2016年02期

3 孔建梅;;浅谈影响三氯氢硅合成炉运行周期的因素[J];化工管理;2016年12期

4 李小军;;锗基笼状掺杂团簇的结构、稳定性和光谱性质[J];材料科学与工程学报;2016年02期

5 江曲远;;多晶硅装置还原/氢化布置设计优化[J];化工设计;2016年02期

6 祝永强;宗冰;王晓波;唐东昌;董海涛;魏东亮;王体虎;;反歧化法制备三氯氢硅工艺的研究与优化[J];化学工程;2016年03期

7 孙仲刚;于波;;硅烷热分解方法中温度对硅棒质量的影响[J];河北工业科技;2016年01期

8 李烨;汪强兵;王建;杨坤;杨保军;;多晶硅净化系统过滤元件再生机理研究[J];粉末冶金技术;2015年06期

9 石安平;王建鑫;田新衍;;二氯二氢硅反歧化反应制备三氯氢硅工艺的研究[J];有机硅材料;2015年06期

10 黄友光;郑静;潘金花;苏国良;黄国强;;四氯化硅热氢化制备三氯氢硅[J];现代化工;2015年10期

【二级参考文献】

中国期刊全文数据库 前1条

1 梁骏吾;兴建年产一千吨电子级多晶硅工厂的思考[J];中国工程科学;2000年06期

，

本文编号：642581