石英玻璃飞秒激光微连接及其接头性能

发布时间：2017-08-15 17:33

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【摘要】：飞秒激光的低热输入、极小热影响区的特点使其在微米尺度材料连接领域有明显的应用潜力.为研究飞秒激光进行玻璃连接的可行性及其接头性能,测定了其接头的拉剪强度并分析了接头断裂前后的形貌特征.证明了飞秒激光连接玻璃的可行性,并发现玻璃试样之间的间隙对飞溅有明显影响.拉剪试验测得的接头强度在6.4~40.4 MPa之间.结果表明,在激光平均功率较大,焊缝间距较小的条件下,连接试样容易在母材中断裂,使得接头的强度相比于断裂在界面上的试样强度降低一半以上.
【作者单位】： 清华大学机械工程系;北京航空航天大学材料加工及控制工程系;
【关键词】： 飞秒激光 微连接 石英玻璃
【基金】：国家自然科学基金资助项目(51375261,51405258) 北京市自然科学基金资助项目(3132020) 先进焊接与连接国家重点实验室开放课题(AWJ-M14-05)
【分类号】：TQ171.68
【正文快照】： 0序言现有的玻璃微连接技术主要包括粘接(adhesivebonding)、直接键合(direct bonding)、热钎焊(bra-zing)、熔化键合(fusion bonding)、阳极键合(anodicbonding)等.近些年随着微纳加工技术的不断发展,这些连接技术也取得显著研究进展[1-4].但当已有的玻璃连接技术应用到微纳

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本文编号：679444