碳热还原氮化制度对TiN薄膜制备影响的研究

发布时间：2017-08-17 22:09

  本文关键词：碳热还原氮化制度对TiN薄膜制备影响的研究

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【摘要】：以四氯化钛乙醇溶液为钛源,聚乙烯吡咯烷酮(PVP)为碳源,采用碳热还原氮化技术制备氮化钛薄膜。利用XRD、FE-SEM和UV-VIS-NIR研究了合成温度和保温时间对氮化钛薄膜显微结构和光学性能的影响。结果表明,当合成温度为1250℃时,薄膜物相仍为金红石型TiO_2和Ti_3O_5;合成温度为1300℃时,薄膜为单一氮化钛物相,氮化钛颗粒呈典型的三角锥型。保温时间为5 h时,薄膜中氮化钛晶体发育更明显,薄膜在近红外区域的反射率可达70%,但保温时间延长到7 h时,薄膜中物相转变为碳化钛,石英玻璃基体中还析出了方石英。
【作者单位】： 华北理工大学材料科学与工程学院;中国科学院特种无机涂层重点实验室;河北省无机非金属材料重点实验室;
【关键词】： 碳热还原氮化 氮化钛 薄膜
【基金】：国家自然科学基金(51272066) 中国科学院特种无机涂层重点实验室开放课题基金(KLICM-2011-01) 河北省自然科学基金(E2013209183) 河北省高等学校科学技术研究青年基金资助项目(2011124)
【分类号】：TQ134.11;TB383.2
【正文快照】： 氮化钛(Ti N)薄膜具有硬度高、耐高温、耐酸碱侵蚀、耐磨损、良好的光学和电性特性以及优良的生物相容性,广泛应用在机械、冶金、汽车、建筑、电子和医学等领域。目前,制备Ti N薄膜主要采用化学气相沉积法[1]、物理气相沉积法[2]、离子注入技术[3]及溶胶-凝胶还原氮化法[4-7]

【共引文献】

中国期刊全文数据库 前4条

1 李吉利;蒋明学;;TiN粉末的制备方法[J];耐火材料;2011年05期

2 刘会兴;卜景龙;魏恒勇;崔q，

本文编号：691329